[实用新型]一种旋转溅射靶材管口保护装置

权利要求书

1.一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：管口保护装置包括一用于盖合旋转溅射靶材(3)的管口的环盖(1)，环盖(1)的内侧壁与旋转溅射靶材(3)管口的外侧壁之间设置有紧固结构，环盖(1)通过紧固结构紧固连接于旋转溅射靶材(3)的管口，环盖(1)的外侧朝中心凸出成型有凸肩(12)，凸肩(12)的内侧与旋转溅射靶材(3)的管口面抵顶配合。

2.根据权利要求1所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述紧固结构设置为螺纹连接结构或卡扣结构或咬合结构。

3.根据权利要求2所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述环盖(1)的内侧壁成型有内螺纹，所述旋转溅射靶材(3)的管口的外壁成型有外螺纹，环盖(1)的内螺纹与旋转溅射靶材(3)的管口的外螺纹螺纹咬合，所述凸肩(12)的内侧活动抵顶于旋转溅射靶材(3)的管口面。

4.根据权利要求3所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述环盖(1)的内侧固定有一质软的保护层(13)，保护层(13)夹设于环盖(1)与所述旋转溅射靶材(3)的管口之间。

5.根据权利要求4所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述保护层(13)由硅胶材料制成的薄膜，薄膜胶接于所述环盖(1)的内侧，薄膜覆盖所述内螺纹以及所述凸肩(12)的内侧。

6.根据权利要求2所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述旋转溅射靶材(3)的管口的外壁成型有外螺纹，所述环盖(1)设置有多个弹性扣脚，各弹性扣脚的端部凸出成型有扣部，各弹性扣脚的扣部分别卡扣连接于旋转溅射靶材(3)的管口的外螺纹的螺纹槽。

7.根据权利要求2所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述旋转溅射靶材(3)的管口的外壁成型有外螺纹，所述环盖(1)的内侧固定有软胶圈，环盖(1)盖合于旋转溅射靶材(3)的管口，软胶圈的内侧与旋转溅射靶材(3)管口的外壁过盈配合。

8.根据权利要求3、6和7中的任一项所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述管口保护装置包括有一用作覆盖旋转溅射靶材(3)的管口的盖板(2)，盖板(2)呈圆片状设置，盖板(2)的直径大于旋转溅射靶材(3)的管口的内径，且盖板(2)的直径不大于所述环盖(1)的内径，盖板(2)嵌入安装于环盖(1)的内侧，盖板(2)的内侧面盖覆于旋转溅射靶材(3)的管口，盖板(2)的外侧边缘与环盖(1)的凸肩(12)限位配合。

9.根据权利要求8所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述盖板(2)的内侧面覆盖设置有一质软的保护层(13)，保护层(13)夹设于所述旋转溅射靶材(3)的管口面与盖板(2)的内侧面之间。

10.根据权利要求1所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述环盖(1)的外侧设置有防滑结构，防滑结构包括有多个沿圆周反向均匀分布的凹槽(11)，形成波浪式的环盖表面。