[实用新型]一种真空度恒定的真空镀膜机

说明书

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，且公开了一种真空度恒定的真空镀膜机，包括真空镀膜机本体，所述真空镀膜机本体的一侧侧壁通过管道连通有真空泵，所述真空镀膜机本体的上端内壁固定连接有物料架，且真空镀膜机本体的一侧侧壁固定连接有负压仓，所述负压仓与真空镀膜机本体连通设置，且负压仓的内壁滑动连接有真空腔，所述真空腔靠近真空镀膜机本体的一侧滑动连接有挡板。该种真空度恒定的真空镀膜机，通过距离传感器配合电动推杆和真空腔，利用电动推杆移动真空腔调整真空镀膜机本体的内部容积快速实现真空度的快速调整，然后配合真空泵进行真空度的缓速调整，并使真空腔回归初始位置，及时响应下次真空度变化。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体为一种真空度恒定的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，在真空镀膜过程中，保持真空度是真空镀膜的一个的质量关键点，在真空镀膜生产过程中对于真空条件是有严格限定的，真空度过高或过低都会影响镀膜的性能和质量。

在现有技术中，工厂里使用的镀膜机对于真空度的控制通常采用感应器配合罗茨泵，在真空镀膜机内真空度下降时启动罗茨泵进行抽真空，而罗茨泵抽真空时间较长，无法以较快的速度稳定真空度，甚至有可能导致真空度过高，反而降低镀膜质量，为此，我们提出一种真空度恒定的真空镀膜机解决上述问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种真空度恒定的真空镀膜机，具备真空度恒定、响应时间短、真空度调整速度快、结构简单等优点，解决了背景技术提出的问题。

(二)技术方案

为实现上述真空度恒定、响应时间短、真空度调整速度快、结构简单等优点的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空度恒定的真空镀膜机，包括真空镀膜机本体，所述真空镀膜机本体的一侧侧壁通过管道连通有真空泵，所述真空镀膜机本体的上端内壁固定连接有物料架，且真空镀膜机本体的一侧侧壁固定连接有负压仓，所述负压仓与真空镀膜机本体连通设置，且负压仓的内壁滑动连接有真空腔，所述真空腔靠近真空镀膜机本体的一侧滑动连接有挡板，且真空腔远离挡板的侧壁固定连接有电动推杆，所述电动推杆远离真空腔的一端与负压仓的内壁固定连接，所述真空腔的靠近真空镀膜机本体的一端固定连接有距离传感器，且距离传感器通过导线与真空泵和电动推杆电联接，所述真空腔远离真空镀膜机本体的内壁固定连接有压缩弹簧，且压缩弹簧远离真空腔的一端与挡板固定连接。

优选的，所述挡板的表面开设有透气孔，且挡板靠近透气孔的侧壁固定连接有支架，所述支架内滑动连接有活塞，且活塞贯穿透气孔设置。

优选的，所述真空腔的侧壁套设有密封垫圈，且密封垫圈与负压仓的内壁为过盈配合，所述挡板的四周固定连接有密封套，且密封套与真空腔的内壁为过盈配合。

优选的，所述挡板靠近压缩弹簧的侧壁固定连接有多个套管，且多个套管内均滑动连接有滑杆，所述滑杆远离套管的一端与真空腔的内壁固定连接。

优选的，所述活塞为橡胶材质，且活塞的外径大于透气孔的外径。

优选的，所述支架远离活塞的一侧固定连接有电磁铁，且活塞内嵌设有磁性金属。

(三)有益效果

与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：

1、该种真空度恒定的真空镀膜机，通过距离传感器配合电动推杆和真空腔，利用电动推杆移动真空腔调整真空镀膜机本体的内部容积快速实现真空度的快速调整，然后配合真空泵进行真空度的缓速调整，并使真空腔回归初始位置，及时响应下次真空度变化。