[实用新型]一种真空度恒定的真空镀膜机有效
| 申请号: | 201922304887.4 | 申请日: | 2019-12-19 |
| 公开(公告)号: | CN211339679U | 公开(公告)日: | 2020-08-25 |
| 发明(设计)人: | 封文炎;阮志明;吴敬超;林敏;赖鸿飞;廖俊峰;王波;魏城峰 | 申请(专利权)人: | 深圳市正和忠信股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
| 代理公司: | 中山市兴华粤专利代理有限公司 44345 | 代理人: | 邓爱军 |
| 地址: | 518117 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 真空 恒定 真空镀膜 | ||
1.一种真空度恒定的真空镀膜机,包括真空镀膜机本体(1),所述真空镀膜机本体(1)的一侧侧壁通过管道连通有真空泵(2);
其特征在于:
所述真空镀膜机本体(1)的上端内壁固定连接有物料架(3),且真空镀膜机本体(1)的一侧侧壁固定连接有负压仓(4),所述负压仓(4)与真空镀膜机本体(1)连通设置,且负压仓(4)的内壁滑动连接有真空腔(5),所述真空腔(5)靠近真空镀膜机本体(1)的一侧滑动连接有挡板(6),且真空腔(5)远离挡板(6)的侧壁固定连接有电动推杆(7),所述电动推杆(7)远离真空腔(5)的一端与负压仓(4)的内壁固定连接,所述真空腔(5)的靠近真空镀膜机本体(1)的一端固定连接有距离传感器(8),且距离传感器(8)通过导线与真空泵(2)和电动推杆(7)电联接,所述真空腔(5)远离真空镀膜机本体(1)的内壁固定连接有压缩弹簧(9),且压缩弹簧(9)远离真空腔(5)的一端与挡板(6)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种真空度恒定的真空镀膜机,其特征在于:所述挡板(6)的表面开设有透气孔(10),且挡板(6)靠近透气孔(10)的侧壁固定连接有支架(11),所述支架(11)内滑动连接有活塞(12),且活塞(12)贯穿透气孔(10)设置。
3.根据权利要求1所述的一种真空度恒定的真空镀膜机,其特征在于:所述真空腔(5)的侧壁套设有密封垫圈,且密封垫圈与负压仓(4)的内壁为过盈配合,所述挡板(6)的四周固定连接有密封套,且密封套与真空腔(5)的内壁为过盈配合。
4.根据权利要求1所述的一种真空度恒定的真空镀膜机,其特征在于:所述挡板(6)靠近压缩弹簧(9)的侧壁固定连接有多个套管(13),且多个套管(13)内均滑动连接有滑杆(14),所述滑杆(14)远离套管(13)的一端与真空腔(5)的内壁固定连接。
5.根据权利要求2所述的一种真空度恒定的真空镀膜机,其特征在于:所述活塞(12)为橡胶材质,且活塞(12)的外径大于透气孔(10)的外径。
6.根据权利要求2所述的一种真空度恒定的真空镀膜机,其特征在于:所述支架(11)远离活塞(12)的一侧固定连接有电磁铁(15),且活塞(12)内嵌设有磁性金属。
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