[实用新型]一种单晶炉导流筒防沉积结构

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉导流筒防沉积结构，包括单晶炉，所述单晶炉内侧壁固定连接有加热器，所述加热器上设有节能坩埚，所述单晶炉的上端面固定连接有保温衬套，所述保温衬套的上端面设有保温大盖板，所述保温衬套的上端面卡接有分段式导流筒，所述分段式导流筒包括上部固定管与下部转动管，所述下部转动管与上部固定管之间设有用于实现下部转动管转动的转动接口机构。本实用新型结构合理，通过设置转动接口机构实现下部转动管与上部固定管的相对转动，实现对与分段式道理管清理过程提供转动动力，通过设置动力蜗杆机构为下部转动杆提供转动动力，实现下部转动管固定转速的转动。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，尤其涉及一种单晶炉导流筒防沉积结构。

背景技术

单晶炉是在惰性气体（氩气）环境下，用石墨电阻加热器将多晶硅材料熔化，在特定温度区域内采用软籽晶轴提升旋转机构，对原籽晶进行匀速旋转提升，于此同时坩埚随着单晶的生长匀速旋转提升，实现生长成无位错单晶硅棒。

单晶炉工作前通过导流筒添加软籽晶轴进入节能坩埚过的过程中，会有软籽晶轴残留在导流筒中，在单晶炉的温度变化时会导致其原料的融化，并最终残留在导流管中。

针对软籽晶轴在导流筒中的残留的清理，现今的清理方式多人工手动去清理，该种清理方式，不仅效率低下，且在清理过程中面对粘连在导流筒内壁上粘黏稳固的软籽晶轴无法实现较为良好的清洁方式。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种单晶炉导流筒防沉积结构，其通过设置转动接口机构实现下部转动管与上部固定管的相对转动的过程，通过设置动力蜗杆机构为下部转动杆提供转动动力，实现下部转动管的固定转速的转动。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种单晶炉导流筒防沉积结构，包括单晶炉，所述单晶炉内侧壁固定连接有加热器，所述加热器上设有节能坩埚，所述单晶炉的上端面固定连接有保温衬套，所述保温衬套的上端面设有保温大盖板，所述保温衬套的上端面卡接有分段式导流筒，所述分段式导流筒包括上部固定管与下部转动管，所述下部转动管与上部固定管之间设有用于实现下部转动管转动的转动接口机构，所述下部转动管上的外侧壁上设有用于为下部转动管旋转提供动力的动力蜗杆机构，所述分段式导流筒中设有用于清理沉积物的自热清理机构。

优选地，所述转动接口机构包括固定连接在上部固定管下端面上的旋转管，所述下部转动管的上端面上固定连接有运动齿轮，所述运动齿轮与旋转管之间设有旋转轴承。

优选地，所述动力蜗杆机构包括与运动齿轮啮合连接的传动蜗杆，所述传动蜗杆转动连接在保温衬套的内壁上，所述单晶炉的上端面上固定连接有动力电机，所述动力电机的转动轴末端固定连接在传动蜗杆上。

优选地，所述自热清理机构包括固定连接在保温大盖板上端面上的固定杆，所述固定杆末端固定连接有楔形清理块，所述楔形清理块中设有通电块，所述楔形清理块上固定连接有加热清理刀头，所述通电块通过导线连接加热清理刀头。

优选地，所述固定杆为与保温大盖板之间为可拆卸连接。

优选地，所述加热清理刀头上设有隔热金属层。

本实用新型与现有技术相比，其有益效果为：

1、通过设置转动接口机构实现下部转动管与上部固定管的相对转动，实现对与分段式道理管清理过程提供转动动力。

2、通过设置动力蜗杆机构为下部转动杆提供转动动力，实现下部转动管固定转速的转动。

3、通过设置自热清理机构实现对导流筒的清理与加热融化固定在导流筒中的投料。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种单晶炉导流筒防沉积结构的结构主视示意图；