[实用新型]一种单晶炉导流筒防沉积结构有效
申请号: | 201922295586.X | 申请日: | 2019-12-19 |
公开(公告)号: | CN211394697U | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 韩永龙;高玉顺;何旭;杨延生 | 申请(专利权)人: | 阳光能源(青海)有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 青海省专利服务中心 63100 | 代理人: | 李玉青 |
地址: | 810000 青*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 导流 沉积 结构 | ||
1.一种单晶炉导流筒防沉积结构,包括单晶炉(1),其特征在于,所述单晶炉(1)内侧壁固定连接有加热器(2),所述加热器(2)上设有节能坩埚(3),所述单晶炉(1)的上端面固定连接有保温衬套(4),所述保温衬套(4)的上端面设有保温大盖板(11),所述保温衬套(4)的上端面卡接有分段式导流筒,所述分段式导流筒包括上部固定管(14)与下部转动管(13),所述下部转动管(13)与上部固定管(14)之间设有用于实现下部转动管(13)转动的转动接口机构,所述下部转动管(13)上的外侧壁上设有用于为下部转动管(13)旋转提供动力的动力蜗杆机构,所述分段式导流筒中设有用于清理沉积物的自热清理机构。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉导流筒防沉积结构,其特征在于,所述转动接口机构包括固定连接在上部固定管(14)下端面上的旋转管(7),所述下部转动管(13)的上端面上固定连接有运动齿轮(15),所述运动齿轮(15)与旋转管(7)之间设有旋转轴承。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉导流筒防沉积结构,其特征在于,所述动力蜗杆机构包括与运动齿轮(15)啮合连接的传动蜗杆(8),所述传动蜗杆(8)转动连接在保温衬套(4)的内壁上,所述单晶炉(1)的上端面上固定连接有动力电机(9),所述动力电机(9)的转动轴末端固定连接在传动蜗杆(8)上。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉导流筒防沉积结构,其特征在于,所述自热清理机构包括固定连接在保温大盖板(11)上端面上的固定杆(6),所述固定杆(6)末端固定连接有楔形清理块(5),所述楔形清理块(5)中设有通电块(10),所述楔形清理块(5)上固定连接有加热清理刀头(12),所述通电块(10)通过导线连接加热清理刀头(12)。
5.根据权利要求4所述的一种单晶炉导流筒防沉积结构,其特征在于,所述固定杆(6)为与保温大盖板(11)之间为可拆卸连接。
6.根据权利要求4所述的一种单晶炉导流筒防沉积结构,其特征在于,所述加热清理刀头(12)上设有隔热金属层。
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