[实用新型]一种多晶硅铸锭硅片清洗设备

说明书

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，包括箱体，所述箱体底部的两侧均固定连接有底座，所述箱体顶部的左侧通过固定座固定连接有转动电机，所述转动电机的输出端固定连接有转动盘，所述转动盘的右侧固定来连接有短杆，所述短杆的外表面活动连接有摆动杆，所述摆动杆的一侧开设有通槽，本实用新型涉及片清洗设备技术领域。该多晶硅铸锭硅片清洗设备，通过在箱体的顶部设置转动电机，配合转盘上的短杆和摆动杆，再利用分叉杆和清理海绵，从而带动清理海绵进行摆动，能够使得喷头对硅片进行冲洗时，与水流方向相垂直的硅片被其清理海绵推平，同时对硅片上的赃物进行擦洗，通过此结构对硅片进行清洗效果较为明显。

技术领域

本实用新型涉及片清洗设备技术领域，具体为一种多晶硅铸锭硅片清洗设备。

背景技术

半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。会导致各种缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种，多晶硅铸锭硅片在作为电池材料的源头，随着光伏产业的发展，多晶硅铸锭硅片使用的数量也越来越多。

现有的多晶硅铸锭硅片清理设备，通常是采用物理清洗的方式对硅片进行清洗，即采用高压喷头对硅片进行清洗，在对其进行清洗时，若硅片与喷头的水处于垂直状态，则硅片的两侧无法被清洗，且只用水冲洗难以清理干净，且清洗过后的水资源并没有回收利用或回收利用率较低，因此导致水资源的浪费。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，解决了若硅片与喷头的水处于垂直状态，则硅片的两侧无法被清洗，且清洗过后的水资源被浪费的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，包括箱体，所述箱体底部的两侧均固定连接有底座，所述箱体顶部的左侧通过固定座固定连接有转动电机，所述转动电机的输出端固定连接有转动盘，所述转动盘的右侧固定来连接有短杆，所述短杆的外表面活动连接有摆动杆，所述摆动杆的一侧开设有通槽，所述短杆的外表面与通槽的内表面滑动连接，所述摆动杆的底端贯穿箱体并延伸至箱体的内部，所述摆动杆的底端固定连接有分叉杆，所述分叉杆的外表面套设有清理海绵。

优选的，所述箱体内壁的两侧之间固定连接有过滤板，所述箱体的左侧固定连接有固定座，所述固定座的顶部固定连接有抽水泵，所述抽水泵的抽水端固定连接有管道，所述管道的右端贯穿箱体并延伸至箱体的内部。

优选的，所述箱体内壁的两侧均固定连接有固定块，所述固定块的内表面固定连接有喷水管，所述喷水管的一端贯穿箱体并延伸至箱体的外部，所述喷水管的外表面连通有喷头。

优选的，所述过滤板顶部的两侧与箱体内腔顶部的两侧均固定连接有滑块，所述滑块的一侧开设有滑槽，所述滑槽的内表面滑动连接有滑条，所述滑条的一侧固定连接有置物板，所述置物板的一侧开设有通孔，所述通孔内表面的两侧均固定连接有限位框。

优选的，所述限位框的内表面固定连接有弹簧，所述弹簧的顶端固定连接有滑动块，所述滑动块的一端转动连接有弹性块。

优选的，所述通孔的数量设置有多个，且通孔均匀的分布在置物板的一侧。

有益效果

本实用新型提供了一种多晶硅铸锭硅片清洗设备。与现有技术相比具备以下有益效果：