[实用新型]一种引线键合机抗振XY工作台有效

专利信息
申请号: 201922267299.8 申请日: 2019-12-17
公开(公告)号: CN210668302U 公开(公告)日: 2020-06-02
发明(设计)人: 刘志坤;种利 申请(专利权)人: 江苏爱矽半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 11514 代理人: 刘娟
地址: 221000 江苏省徐州市徐州经济*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 引线 键合机抗振 xy 工作台
【权利要求书】:

1.一种引线键合机抗振XY工作台,其特征在于;包括抗振底座和设于抗振底座上的键合定位组件;

所述抗振底座包括抗振台(100),所述抗振台(100)一端设有向上凸起的键合安装面(110)、另一端设有低于键合安装面(110)的工作台(120),所述键合安装面(110)水平表面上设有并列布置的第一直线电机安装区(400)和第二直线电机安装区(500),所述第一直线电机安装区(400)靠近工作台(120)一侧布置并且第一直线电机安装区(400)表面设有电机安装槽,所述电机安装槽布置方向与键合机安装台延伸方向相垂直,所述电机安装槽底壁和第二直线电机安装区(500)表面设有吸振结构层;所述电机安装槽底壁和第二直线电机安装区(500)上分别设有横向直线电机(300)与纵向直线电机(200);所述抗振台(100)下方还设有调节抗振台(100)的水平度的支撑调节机构。

2.根据权利要求1所述的引线键合机抗振XY工作台,其特征在于:

所述键合定位组件包括设于工作台(120)上的器件承载板(600),所述器件承载板(600)上设有呈矩阵布置的定位孔(620),所述器件承载板(600)上还设有能够插入定位孔(620)内的定位块。

3.根据权利要求2所述的引线键合机抗振XY工作台,其特征在于:

所述工作台(120)的水平表面对应器件承载板(600)各个侧面设有固定凸台(130),所述固定凸台(130)上设有若干槽口(131),所述槽口(131)底壁设有固定孔(132),所述器件承载板(600)侧边设有卡入各个槽口(131)的固定部(610),所述固定部(610)安装有与固定孔(132)螺纹适配的预紧螺栓。

4.根据权利要求2所述的引线键合机抗振XY工作台,其特征在于:

所述定位块包括直角型定位块(700)和直线型定位块(800),所述直角型定位块(700)和直线型定位块(800)上设有至少两个卡入定位孔(620)内的定位部。

5.根据权利要求1所述的引线键合机抗振XY工作台,其特征在于:

所述吸振结构层包括设于电机安装槽底壁和第二直线电机安装区(500)表面的吸振垫,所述吸振垫下表面设有若干定位凸起,所述电机安装槽底壁和第二直线电机安装区(500)表面设有与定位凸起卡合适配的安装孔位。

6.根据权利要求1所述的引线键合机抗振XY工作台,其特征在于:

所述支撑调节机构包括设于抗振台(100)下方各个边缘的支撑柱(900),所述支撑柱(900)上端与抗振台(100)螺接,所述支撑柱(900)下端活动连接有支撑垫板(1000),所述支撑柱(900)上还螺接有抵靠在抗振台(100)下表面的加强螺帽(1100)。

7.根据权利要求6所述的引线键合机抗振XY工作台,其特征在于:

所述支撑柱(900)对应加强螺帽(1100)与抗振台(100)之间套有防滑垫圈,所述防滑垫圈两端面上设有防滑纹。

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