[实用新型]一种离子束刻蚀磁流体密封旋转轴

说明书

本实用新型涉及一种离子束刻蚀磁流体密封旋转轴，包括固定在机体上的定子轴、部分嵌入在定子轴内部的转子轴以及嵌入转子轴内部的绝热筒，其中：定子轴呈筒状，轴向外表面开设有两个气源通道接口、两个低温液体通道接口；转子轴呈筒状且底部为开口，转子轴开设有与两个气源通道接口连通的两个气源通道、轴向分布的电力通道和氦气通道以及两个低温液体通道槽；绝热筒呈圆柱状，绝热筒开设有与两个低温液体通道，两个低温液体通道通过两个低温通道槽与两个低温液体通道接口连通；本实用新型将气、电、液介质直接集成在磁流体旋转轴内部，减少了设备占用空间，降低了成本，提高了效率，给维护也带来了极大的便利。

技术领域

本实用新型属于离子束刻蚀系统技术领域，具体涉及一种离子束刻蚀磁流体密封旋转轴。

背景技术

目前在离子束刻蚀系统中通常使用磁流体密封作为旋转轴的动密封。磁流体密封在旋转轴动密封方面具有低阻力、高转速、超高真空等突出的优点。离子束刻蚀旋转平台涉及气、电、液等系统的集成，现有技术中是将旋转接头连接在磁流体轴上，气、电、液等介质通过旋转接头传递，即为需要将气、电、液各介质传递装置一个个轴向连接在一起，导致整个设备体积庞大，维护麻烦。

实用新型内容

本实用新型提供一种离子束刻蚀磁流体密封旋转轴，本实用新型将水、电、液等介质直接集成到磁流体旋转轴内部，减少了设备占用空间，降低了成本，提高了效率，给维护也带来了极大的便利。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种离子束刻蚀磁流体密封旋转轴，包括固定在机体上的定子轴、部分嵌入在定子轴内部的转子轴以及嵌入转子轴内部的绝热筒，其中：

所述定子轴呈筒状，轴向表面开设有两个气源通道接口、两个低温液体通道接口；

所述转子轴呈筒状且底部为开口，所述转子轴开设有与两个所述气源通道接口连通的两个气源通道、轴向分布的电力通道和氦气通道以及两个低温液体通道槽；

所述绝热筒呈圆柱状，所述绝热筒开设有与两个低温液体通道，两个所述低温液体通道通过两个所述低温液体通道槽与两个所述低温液体通道接口连通。

优选的，还包括密封区域，所述转子轴未嵌入所述定子轴部分与所述定子轴顶部之间的外部区域为密封区域。

优选的，还包括若干密封圈，两个所述气源通道与两个所述气源通道接口连通处、两个所述低温液体通道接口与两个所述低温液体通道槽连通处、两个所述低温液体通道槽与两个所述低温液体通道连通处均设有所述密封圈。

优选的，还包括沉液区域，所述转子轴底部与所述绝热筒底部以及所述定子轴底部形成的空腔为所述沉液区域。

通过以上技术方案，相对于现有技术，本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型将气、电、液等介质直接集成到磁流体旋转轴内部，减少了设备占用空间，降低了成本，提高了效率，给维护也带来了极大的便利。

2、本实用新型设有沉液区域，低温液体经过低温液体通道会出现冷凝现象，产生的滴液会流入下部的沉液区域，再从沉液区域集中排出到设备外，避免了对设备运行造成影响。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型整体结构轴向剖面图；

图2是本实用新型的俯视图。

图中：102、转子轴；104、定子轴；106、绝热筒；108、密封区域；202、气源通道；2021、气源通道接口；204、低温液体通道；2041、低温液体通道接口；2042、低温液体通道槽；206、电力通道；208、氦气通道；302、密封圈； 402、沉液区域。

具体实施方式