[实用新型]一种离子束刻蚀磁流体密封旋转轴

权利要求书

1.一种离子束刻蚀磁流体密封旋转轴，其特征在于：包括固定在机体上的定子轴(104)、部分嵌入在定子轴(104)内部的转子轴(102)以及嵌入转子轴(102)内部的绝热筒(106)，其中：

所述定子轴(104)呈筒状，轴向外表面开设有两个气源通道接口(2021)、两个低温液体通道接口(2041)；

所述转子轴(102)呈筒状且底部为开口，所述转子轴(102)开设有与两个所述气源通道接口(2021)连通的两个气源通道(202)、轴向分布的电力通道(206)和氦气通道(208)以及两个低温液体通道槽(2042)；

所述绝热筒(106)呈圆柱状，所述绝热筒(106)开设有与两个低温液体通道(204)，两个所述低温液体通道(204)通过两个所述低温液体通道槽(2042)与两个所述低温液体通道接口(2041)连通。

2.根据权利要求1所述的一种离子束刻蚀磁流体密封旋转轴，其特征在于：还包括密封区域(108)，所述转子轴(102)未嵌入所述定子轴(104)部分与所述定子轴(104)顶部之间的外部区域为密封区域(108)。

3.根据权利要求1所述的一种离子束刻蚀磁流体密封旋转轴，其特征在于：还包括若干密封圈(302)，两个所述气源通道(202)与两个所述气源通道接口(2021)连通处、两个所述低温液体通道接口(2041)与两个所述低温液体通道槽(2042)连通处、两个所述低温液体通道槽(2042)与两个所述低温液体通道(204)连通处均设有所述密封圈(302)。

4.根据权利要求1所述的一种离子束刻蚀磁流体密封旋转轴，其特征在于：还包括沉液区域(402)，所述转子轴(102)底部与所述绝热筒(106)底部以及所述定子轴(104)底部形成的空腔为所述沉液区域。