[实用新型]凝汽式高效罗茨真空系统

权利要求书

1.一种凝汽式高效罗茨真空系统，其特征在于：包含有凝汽器(1)，凝汽器(1)的进口经隔离阀连通至主管路上，凝汽器(1)的出口经气控阀连通至气冷罗茨真空泵(2)的进气口，所述气冷罗茨真空泵(2)的出气口经级间换热器(3)和水环真空泵(4)连通至气水分离器(5)的上部进气口，且级间换热器(3)和水环真空泵(4)之间的管路上串接有逆止阀，级间换热器(3)和水环真空泵(4)之间的管路上插接有破空阀，上述水环真空泵(4)的工作液进液口经工作液冷却器(6)与气水分离器(5)的下部出液口相连通。

2.如权利要求1所述一种凝汽式高效罗茨真空系统，其特征在于：所述级间换热器(3)的冷却液出液口经管路连通至工作液冷却器(6)的进液口。

3.如权利要求2所述一种凝汽式高效罗茨真空系统，其特征在于：所述凝汽器(1)、气冷罗茨真空泵(2)、级间换热器(3)、水环真空泵(4)、气水分离器(5)和工作液冷却器(6)均安装于外壳体内，且外壳体上设置有冷却液进液口一(101)、冷却液进液口二(102)、冷却液排液口一(103)、冷却液排液口二(104)、排污口(105)、补水口(106)和进气口；进气口经隔离阀与凝汽器(1)的进口相连通，冷却液进液口一(101)和冷却液排液口一(103)分别经管路与凝汽器(1)的冷却液进液端和出液端相连通；冷却液进液口二(102)经管路与级间换热器(3)的冷却液进液口相连通，冷却液排液口二(104)经管路与工作液冷却器(6)的出液口相连通，补水口(106)经补水阀与气水分离器(5)的补水口相连通，气水分离器(5)的底部排污口经管路与排污口(105)相连通。