[实用新型]一种高效双头固晶装置的甩臂驱动机构有效

专利信息
申请号: 201922258347.7 申请日: 2019-12-16
公开(公告)号: CN211125611U 公开(公告)日: 2020-07-28
发明(设计)人: 冯霞霞 申请(专利权)人: 江苏新智达新能源设备有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/67
代理公司: 南京中高专利代理有限公司 32333 代理人: 袁兴隆
地址: 214000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 高效 双头固晶 装置 驱动 机构
【权利要求书】:

1.一种高效双头固晶装置的甩臂驱动机构,包括转台(1)、第一甩臂(2)和第二甩臂(3),所述第一甩臂(2)和所述第二甩臂(3)对称设置在所述转台(1)的左右两侧,其特征在于:所述甩臂驱动机构还包括

第一驱动电机(4),所述第一驱动电机(4)设置在固定的机架(5)上,所述第一驱动电机(4)的输出轴与所述转台(1)固定连接并可驱动所述转台(1)转动以在旋转方向调节所述第一甩臂(2)和所述第二甩臂(3)的位置;

第一竖直调节机构,所述第一甩臂(2)通过所述第一竖直调节机构活动设置在所述转台(1)上,可驱动所述第一甩臂(2)沿竖直方向移动;

第二竖直调节机构,所述第二甩臂(3)通过所述第二竖直调节机构活动设置在所述转台(1)上,可驱动所述第二甩臂(3)沿竖直方向移动。

2.如权利要求1所述的一种高效双头固晶装置的甩臂驱动机构,其特征在于:所述第一竖直调节机构包括支撑轴(10)、第一连接杆(11)、第一导轨(12)和第一滑块(13),所述第一导轨(12)沿竖直方向设置在所述转台(1)上,所述第一滑块(13)滑动设置在所述第一导轨(12)上,并与所述第一甩臂(2)固定连接,所述支撑轴(10)沿竖直方向活动安装在所述转台(1)上,所述支撑轴(10)的底部与所述第一连接杆(11)的一端转动连接,所述第一连接杆(11)的另一端与所述第一滑块(13)固定连接,所述支撑轴(10)上下移动能够带动所述第一甩臂(2)上下移动。

3.如权利要求2所述的一种高效双头固晶装置的甩臂驱动机构,其特征在于:所述第一竖直调节机构还包括第二连接杆(14)、第一曲柄(15)、第一偏心轮(16)和第二驱动电机(17),所述第二驱动电机(17)固定设置在所述机架(5)上,所述第二驱动电机(17)的输出轴与所述第一偏心轮(16)固定连接,所述第一曲柄(15)的一端与所述第一偏心轮(16)相铰接,所述第一曲柄(15)的另一端与所述第二连接杆(14)的一端相铰接,所述第二连接杆(14)的另一端与所述支撑轴(10)的顶部转动连接,所述第一偏心轮(16)在所述第二驱动电机(17)的驱动下转动能够带动所述支撑轴(10)上下移动。

4.如权利要求2所述的一种高效双头固晶装置的甩臂驱动机构,其特征在于:所述第二竖直调节机构包括连接轴(20)、第三连接杆(21)、第二导轨(22)和第二滑块(23),所述支撑轴(10)中设置有安装孔,所述连接轴(20)由上至下插入所述安装孔中并能沿所述安装孔的轴向上下移动,所述第二导轨(22)沿竖直方向设置在所述转台(1)上,所述第二滑块(23)滑动设置在所述第二导轨(22)上,并与所述第二甩臂(3)固定连接,所述支撑轴(10)的底部与所述第三连接杆(21)的一端转动连接,所述第三连接杆(21)的另一端与所述第二滑块(23)固定连接,所述连接轴(20)上下移动能够带动所述第二甩臂(3)上下移动。

5.如权利要求4所述的一种高效双头固晶装置的甩臂驱动机构,其特征在于:所述第二竖直调节机构还包括第四连接杆(24)、第二曲柄(25)、第二偏心轮(26)和第三驱动电机(27),所述第三驱动电机(27)固定设置在所述机架(5)上,所述第三驱动电机(27)的输出轴与所述第二偏心轮(26)固定连接,所述第二曲柄(25)的一端与所述第二偏心轮(26)相铰接,所述第二曲柄(25)的另一端与所述第四连接杆(24)的一端相铰接,所述第四连接杆(24)的另一端与所述连接轴(20)的顶部转动连接,所述第二偏心轮(26)在所述第三驱动电机(27)的驱动下转动能够带动所述连接轴(20)上下移动,进而带动所述第二甩臂(3)上下移动。

6.如权利要求4所述的一种高效双头固晶装置的甩臂驱动机构,其特征在于:所述安装孔中设置有滚珠保持架(30),所述滚珠保持架(30)的内壁和所述连接轴(20)的外壁贴合设置。

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