[实用新型]微波烧结装置

权利要求书

1.一种微波烧结装置，其特征在于，包括：保温层(10)、SiC圆环(20)以及坩埚(30)，所述SiC圆环(20)位于所述保温层(10)内部、所述坩埚(30)位于所述SiC圆环(20)内部，所述保温层(10)开设有通向所述坩埚(30)的测温通道(1)；

所述SiC圆环(20)包括圆环状的SiC本体(21)和包覆在所述SiC本体(21)内表面和外表面的防护层(22)。

2.根据权利要求1所述的微波烧结装置，其特征在于，所述防护层(22)为Al₂O₃膜层或氧化锆膜层。

3.根据权利要求2所述的微波烧结装置，其特征在于，所述SiC圆环(20)的底部铺设有SiC底盘(23)，所述SiC圆环(20)的顶部设置有保温盖(24)，所述坩埚(30)位于所述SiC底盘(23)和所述保温盖(24)之间，所述测温通道(1)穿过所述保温盖(24)。

4.根据权利要求3所述的微波烧结装置，其特征在于，所述防护层(22)、SiC本体(21)以及SiC底盘(23)的厚度关系为0.2：1～1.5：1。

5.根据权利要求1所述的微波烧结装置，其特征在于，所述坩埚(30)的形状为双层壁的筒状，所述坩埚(30)的外层壁(31)和内层壁(32)之间填充有氧化锆球(33)，所述内层壁(32)内部形成有样品室(34)。

6.根据权利要求1所述的微波烧结装置，其特征在于，所述保温层(10)包括由外至内设置的第一保温层(11)和第二保温层(12)，所述SiC圆环(20)位于所述第二保温层(12)内部，所述测温通道(1)穿过所述第一保温层(11)和所述第二保温层(12)。

7.根据权利要求6所述的微波烧结装置，其特征在于，所述第一保温层(11)包括：Al₂O₃泡沫砖盖(111)、第一Al₂O₃保温层(112)和第一Al₂O₃纤维棉体(113)；

所述第一Al₂O₃保温层(112)的形状为圆环状，所述Al₂O₃泡沫砖盖(111)能够盖合在所述Al₂O₃保温层(112)上；所述第一Al₂O₃纤维棉体(113)填充与所述第一Al₂O₃保温层(112)内；

所述测温通道(1)穿过所述Al₂O₃泡沫砖盖(111)和所述第一Al₂O₃纤维棉体(113)。

8.根据权利要求7所述的微波烧结装置，其特征在于，所述第二保温层(12)包括第二Al₂O₃保温层(121)和第二Al₂O₃纤维棉体(122)；

所述第二Al₂O₃保温层(121)的形状为圆筒状，所述第二Al₂O₃纤维棉体(122)填充于所述第二Al₂O₃保温层(121)内，所述测温通道(1)穿过所述第二Al₂O₃保温层(121)和所述第二Al₂O₃纤维棉体(122)。

9.根据权利要求8所述的微波烧结装置，其特征在于，所述微波烧结装置还包括底座(40)，所述保温层(10)、SiC圆环(20)以及坩埚(30)均位于所述底座(40)上。