[实用新型]一种提高氮化硅研磨效果的研磨装置

权利要求书

1.一种提高氮化硅研磨效果的研磨装置，包括减震底座（1）、研磨头（10）和研磨辅助块（14），其特征在于：所述减震底座（1）顶部连接有固定支撑杆（2），且固定支撑杆（2）内部插接固定有固定块（3），所述固定块（3）和固定支撑杆（2）通过固定螺栓（4）连接，且固定块（3）左侧插接固定有连接钢杆（5），所述连接钢杆（5）左侧安装有机械箱（6），且机械箱（6）内部设置有驱动电机（7），所述驱动电机（7）底部插接连接有研磨杆（8），且研磨杆（8）底部安装有研磨罐（9），所述研磨头（10）顶部连接有研磨杆（8），且研磨头（10）上下两侧均设置有研磨凸块（11），所述研磨凸块（11）之间安装有研磨齿牙（12），且研磨凸块（11）的底部设置有复合金属层（13），所述研磨辅助块（14）放置在研磨罐（9）的内部，且研磨罐（9）的顶部设置有过滤网（15）。

2.根据权利要求1所述的一种提高氮化硅研磨效果的研磨装置，其特征在于：所述减震底座（1）与固定块（3）通过固定支撑杆（2）插接为一体，且固定支撑杆（2）关于减震底座（1）中轴线对称分布。

3.根据权利要求1所述的一种提高氮化硅研磨效果的研磨装置，其特征在于：所述驱动电机（7）内嵌安装在机械箱（6）的内部，且机械箱（6）垂直固定在连接钢杆（5）上，并且连接钢杆（5）与机械箱（6）焊接为一体。

4.根据权利要求1所述的一种提高氮化硅研磨效果的研磨装置，其特征在于：所述研磨凸块（11）关于研磨头（10）中心线对称分布上，且研磨头（10）上等距离分布有研磨齿牙（12），并且研磨齿牙（12）弯曲的角度为45°。

5.根据权利要求1所述的一种提高氮化硅研磨效果的研磨装置，其特征在于：所述复合金属层（13）底部为倒角结构，且复合金属层（13）与研磨辅助块（14）相互契合，并且研磨辅助块（14）纵截面为圆弧形结构。

6.根据权利要求1所述的一种提高氮化硅研磨效果的研磨装置，其特征在于：所述过滤网（15）卡合固定在研磨罐（9）上，且过滤网（15）孔径的范围为80-60um。