[实用新型]储液设备以及晶圆处理装置

权利要求书

1.一种储液设备，包括液体缓冲槽，用于盛装液体，其特征在于，还包括超声波震荡器，安装至所述液体缓冲槽，用于使所述液体缓冲槽内盛装的液体震动，以排出所述液体缓冲槽内盛装的液体内的气泡；

所述超声波震荡器内设置有换能器，由所述换能器将超声波发射至所述液体缓冲槽内。

2.根据权利要求1所述的储液设备，其特征在于，所述液体缓冲槽为圆柱形液体缓冲槽，所述超声波震荡器均匀分布于所述圆柱形液体缓冲槽侧壁表面。

3.根据权利要求1所述的储液设备，其特征在于，所述超声波震荡器的震荡频次范围为25KHz至5MHz。

4.根据权利要求1所述的储液设备，其特征在于，所述换能器包括两个发射头，所述两个发射头发射的波之间呈一夹角。

5.根据权利要求4所述的储液设备，其特征在于，所述夹角的角度范围为16°至35°。

6.根据权利要求1所述的储液设备，其特征在于，所述液体缓冲槽为密封液体缓冲槽，表面还设置有排气孔，与所述密封液体缓冲槽内部连通，用于排出液体在震动过程中排出的气体。

7.一种晶圆处理装置，其特征在于，包括如权利要求1至6中任一项所述储液设备。

8.根据权利要求7所述的晶圆处理装置，其特征在于，还包括：

储液瓶，通过连接管路连通至所述液体缓冲槽，用于储蓄待通入至所述液体缓冲槽内的液体；

气体源，连通至所述储液瓶，用于调整所述储液瓶内压强，以便将所述储液瓶内的液体压入所述液体缓冲槽。

9.根据权利要求8所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述储液瓶表面设置有通气管路，所述通气管路连通所述储液瓶内部，并连通至所述气体源，用于向所述储液瓶内部通入气体，以将所述储液瓶内的液体压入所述液体缓冲槽内。

10.根据权利要求8所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述气体源包括氮气源。