[实用新型]一种用于晶片抛光机的废料收集机构

说明书

本实用新型公开了一种用于晶片抛光机的废料收集机构，属于晶片加工设备技术领域，旨在提供一种清理残屑方便、彻底的用于晶片抛光机的废料收集机构，包括机体，机体包括工作箱，工作箱内设有工装夹具，工作箱内的底部上开有导料槽，导料槽环绕工装夹具，导料槽呈倾斜状，导料槽的最底端开有排料孔，机体上设有与排料孔连通并与机体连接的排料管、与排料管连接的吸风机及与吸风机连接的收料箱，工作箱上设有用于工作箱密封的密封盖。

技术领域

本实用新型涉及一种晶片加工设备,更具体地说，它涉及一种用于晶片抛光机的废料收集机构。

背景技术

现有技术中的晶片抛光机，大多采用将晶片固定在一个固定盘上，晶片表面凸出在固定盘盘面外，用打磨布对晶片的表面进行打磨。晶片在抛光过程中，会产生大量的残屑，通常需要人工对废料进行清理，非常麻烦；而且人工对于残屑清理不够彻底，从而容易对晶片的抛光工序造成影响。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种清理残屑方便、彻底的用于晶片抛光机的废料收集机构。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种用于晶片抛光机的废料收集机构，包括机体，机体包括工作箱，工作箱内设有工装夹具，工作箱内的底部上开有导料槽，导料槽环绕工装夹具，导料槽呈倾斜状，导料槽的最底端开有排料孔，机体上设有与排料孔连通并与机体连接的排料管、与排料管连接的吸风机及与吸风机连接的收料箱，工作箱上设有用于工作箱密封的密封盖，密封盖与工作箱活动连接。

进一步的，工作箱内设有导料斗，导料斗包括进料口和出料口，进料口的外缘与工作箱的内壁连接，出料口朝向导料槽的方向，工装夹具穿过出料口，导料斗上设有呈环状的过滤网，过滤网的外缘与导料斗的内壁抵触，工作夹具上设有与过滤网的内缘连接的导向环板，导向环板向导料槽的方向倾斜，过滤网与导料槽对应。

通过采用上述技术方案，本实用新型的有益效果为：晶片被抛光产生的残屑及废料掉落到过滤网环上，吸风机启动后，即可将细小的残屑吸入收料箱内，比较大的废料落在过滤网环上，便于工作人员清理，这样设置，对于残屑的清理更为方便、彻底。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构示意图。

图2为工作箱的剖视结构示意图。

具体实施方式

参照图1至图2对本实用新型实施例做进一步说明。

一种清理残屑方便、彻底的用于晶片抛光机的废料收集机构。

本实用新型的具体实施方案：包括机体1，机体1包括工作箱2，工作箱2内设有工装夹具3，工作箱2内的底部上开有导料槽4，导料槽4环绕工装夹具3，导料槽4呈倾斜状，导料槽4的最底端开有排料孔5，机体1上设有与排料孔5连通并与机体1连接的排料管6、与排料管6连接的吸风机7及与吸风机7连接的收料箱8，工作箱2上设有用于工作箱2密封的密封盖9，密封盖9与工作箱活动连接。

晶片固定于工装夹具3上进行抛光后产生大量残屑，残屑掉落至导料槽4上，对残屑进行清理时，用密封盖9将工作箱2盖住、密封，之后吸风机7开启，工作腔内的残屑经排料孔5被吸入排料管6内，最后被排入收料箱8内，从而完成残屑的收集；呈倾斜状的导料槽4，使得落在导料槽4内的残屑会向导料槽4的最底端滑动，进而使得残屑排出更为方便、彻底；排料孔5置于导料槽4最底端，从而使得吸风机7对残屑吸附、排出时，残屑可以更为方便的被排出；密封盖9的设置，使得工作箱2内经吸风机7吸动时，工作箱2内的压强较外部小，故残屑更为容易被排出；这样设置，使得残屑的清理更为方便、彻底。