[实用新型]一种用于晶片抛光机的废料收集机构

权利要求书

1.一种用于晶片抛光机的废料收集机构，包括机体，机体包括工作箱，工作箱内设有工装夹具，其特征是：所述工作箱内的底部上开有导料槽，导料槽环绕工装夹具，导料槽呈倾斜状，导料槽的最底端开有排料孔，机体上设有与排料孔连通并与机体连接的排料管、与排料管连接的吸风机及与吸风机连接的收料箱，工作箱上设有用于工作箱密封的密封盖，密封盖与工作箱活动连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶片抛光机的废料收集机构，其特征是：所述工作箱内设有导料斗，导料斗包括进料口和出料口，进料口的外缘与工作箱的内壁连接，出料口朝向导料槽的方向，工装夹具穿过出料口，导料斗上设有呈环状的过滤网，过滤网的外缘与导料斗的内壁抵触，工作夹具上设有与过滤网的内缘连接的导向环板，导向环板向导料槽的方向倾斜，过滤网与导料槽对应。