[实用新型]一种真空系统用挡板阀

说明书

本实用新型涉及一种真空系统用的挡板阀，包括高真空获得装置、用于与腔体密封连接和安装高真空获得装置的固定板、用于隔离高真空获得装置和真空室的密封板、与密封板联动的驱动机构；所述固定板上设置有驱动机构安装法兰和高真空获得装置抽气口。本实用新型的实用性、使用性能以及抽真空效果好，适用范围广；实现快速连通或隔离高真空获得装置与真空室，便于连续生产。

技术领域

本实用新型涉及一种真空系统用挡板阀。

背景技术

真空系统是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。目前，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工、真空镀膜、电子束焊、真空焊接等行业。

例如，真空蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。真空蒸镀工艺一般包括基片表面清洁、镀膜前的准备、蒸镀、取件、镀后处理、检测、产品等步骤。

电子束蒸镀是利用加速电子轰击镀膜材料，电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发，并成膜。电子枪有直射式、环型和E型之分。电子束加热蒸镀的特点是能获得极高的能量密度，最高可达109w/cm2，加热温度可达3000～6000℃，可以蒸发难熔金属或化合物；被蒸发材料置于水冷的坩埚中，可避免坩埚材料的污染，制备高纯薄膜；另外，由于蒸发物加热面积小，因而热辐射损失减少，热效率高。蒸发镀膜的腔体用于放置待镀膜的工件；在其腔体设置有一个及以上的真空泵。

现有真空系统使用的是真空泵，存在体积大、效率不高的缺点，而且真空泵与真空室之间无法快速连通或隔离，进而影响生产效率。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中存在的技术问题，提供一种真空系统用挡板阀，解决抽真空效果不好以及真空泵与真空室之间无法快速连通或隔离的问题。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：

一种真空系统用挡板阀，包括高真空获得装置、用于与腔体密封连接和安装高真空获得装置的固定板、用于隔离高真空获得装置和真空室的密封板、与密封板联动的驱动机构；所述固定板上设置有驱动机构安装法兰和高真空获得装置抽气口。

本实用新型的有益效果是：实用性、使用性能以及抽真空效果更好，适用范围广；实现快速连通或隔离高真空获得装置与真空室，便于连续生产。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

进一步，所述高真空获得装置抽气口为方形孔。

进一步，所述高真空获得装置抽气口为圆形孔。

进一步，所述高真空获得装置和高真空获得装置抽气口同轴设置。

进一步，所述高真空获得装置为低温冷凝泵和任意角度安装的分子泵。

进一步，所述驱动机构为气缸，且气缸的数量为四个。

进一步，四个所述气缸沿高真空获得装置抽气口的中心呈环形阵列分布。

进一步，所述密封板为矩形板或圆形板。

进一步，所述密封板靠近固定板一侧的外缘设置有密封环。

进一步，所述高真空获得装置抽气口靠近密封板一侧的外缘设置有密封环。

采用上述进一步方案的有益效果是降低生产成本和难度；进一步提高抽真空效率和效果；显著提高高真空获得装置与真空室之间的隔离效果。

附图说明

图1为本实用新型所述真空系统的立体结构示意图；