[实用新型]一种真空系统用挡板阀有效
| 申请号： | 201922155469.3 | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN211227332U | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 郭爱云;朱选敏 | 申请（专利权）人： | 武汉科瑞达真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 谢洋 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖高新技术开发区高新*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 系统 挡板 | ||
1.一种真空系统用挡板阀，其特征在于：包括高真空获得装置(1)、用于与腔体密封连接和安装高真空获得装置(1)的固定板(4)、用于隔离高真空获得装置(1)和真空室的密封板(3)、与密封板(3)联动的驱动机构(2)；所述固定板(4)上设置有驱动机构安装法兰(41)和高真空获得装置抽气口(42)。
2.根据权利要求1所述一种真空系统用挡板阀，其特征在于：所述高真空获得装置抽气口(42)为方形孔。
3.根据权利要求1所述一种真空系统用挡板阀，其特征在于：所述高真空获得装置抽气口(42)为圆形孔。
4.根据权利要求3所述一种真空系统用挡板阀，其特征在于：所述高真空获得装置(1)和高真空获得装置抽气口(42)同轴设置。
5.根据权利要求1～4中任一所述一种真空系统用挡板阀，其特征在于：所述高真空获得装置(1)为低温冷凝泵和任意角度安装的分子泵。
6.根据权利要求5所述一种真空系统用挡板阀，其特征在于：所述驱动机构(2)为气缸，且气缸的数量为四个。
7.根据权利要求6所述一种真空系统用挡板阀，其特征在于：四个所述气缸沿高真空获得装置抽气口(42)的中心呈环形阵列分布。
8.根据权利要求1～4中任一所述一种真空系统用挡板阀，其特征在于：所述密封板(3)为矩形板或圆形板。
9.根据权利要求1～4中任一所述一种真空系统用挡板阀，其特征在于：所述密封板(3)靠近固定板(4)一侧的外缘设置有密封环。
10.根据权利要求1～4中任一所述一种真空系统用挡板阀，其特征在于：所述高真空获得装置抽气口(42)靠近密封板(3)一侧的外缘设置有密封环。
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