[实用新型]一种单线锯金刚线电火花放电硅棒加工装置

说明书

本实用新型涉及一种单线锯金刚线电火花放电硅棒加工装置，包括基座、设置在基座一端的立柱、以及设置在基座另一端的脉冲电源。所述立柱和脉冲电源之间有平行设置的两个工作台，所述立柱面向所述工作台一侧设有滑板，滑板上设有切割头架。本实用新型通过两个进电轮对金刚线进电，使进电位置距离切割区更近，减小了进电位置与切割区之间的电阻，进而减小了放电回路的电阻，增大放电电流，提高切割效率。

技术领域

本实用新型属于硅棒加工技术领域，具体地说涉及一种单线锯金刚线电火花放电硅棒加工装置。

背景技术

由于半导体的特殊导电性，进电金属与半导体之间会形成接触电阻，接触电阻会降低放电电流，甚至阻碍放电的进行。同时，由于金刚线自身具有切割性能，传统电火花线切割机床所采用的以导电块为线电极进电的方式将使电阻变大，切割时面临困难，同时导电块磨损较快。

实用新型内容

针对现有技术的种种不足，发明人在长期实践中研究设计出一种单线锯金刚线电火花放电硅棒加工装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种单线锯金刚线电火花放电硅棒加工装置，包括基座、设置在基座一端的立柱、以及设置在基座另一端的脉冲电源；所述立柱和脉冲电源之间有平行设置的两个工作台；所述立柱面向所述工作台一侧设有滑板，滑板上设有切割头架，切割头架两端底部设有进电棒；所述进电棒底部设有进电轮，所述切割头架两端端部均设有张紧轮，所述切割头架顶部设有动力轮。

进一步地，所述工作台顶部放置一圆弧形进电金属。

进一步地，所述脉冲电源负极处设有负极进电线，负极进电线另一端连接所述进电棒。

进一步地，所述脉冲电源正极处设有正极进电线，正极进电线另一端连接所述进电金属。

进一步地，金刚线套设在所述进电轮、张紧轮和动力轮外。

本实用新型的有益效果是：

通过两个进电轮对金刚线进电，使进电位置距离切割区更近，减小了进电位置与切割区之间的电阻，进而减小了放电回路的电阻，增大放电电流，提高切割效率；同时，通过圆弧形进电金属的设置以及硅棒支撑部位两侧同时进电，可以使接触面积更大，接触电阻更小，进电更均匀；另外，通过滚动方式实现进电，将工具电极与进电部件之间的滑动摩擦变为滚动摩擦，减小了摩擦力，减缓了进电金属的磨损速度，同时也减轻了进电部件对金刚线的磨损。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

附图中：1-基座、2-工作台、21-立柱、22-滑板、23-切割头架、3-正极进电线、4-进电金属、5-进电轮、6-进电棒、7-张紧轮、8-动力轮、9-金刚线、10-负极进电线、11-P型硅、12-脉冲电源。

具体实施方式

为了使本领域的人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合本实用新型的附图，对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的描述。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例，都应当属于本申请保护的范围。此外，以下实施方式中提到的方向用词，例如“上”“下”“左”“右”等仅是参考附图的方向，因此，使用的方向用词是用来说明而非限制本实用新型创造。

下面结合附图和较佳的实施例对本实用新型作进一步说明。

参见图1，本实用新型的一种单线锯金刚线电火花放电硅棒加工装置，包括基座1、设置在基座1一端的立柱21、以及设置在基座1另一端的脉冲电源12。在立柱21和脉冲电源12之间有平行设置的两个工作台2。立柱21面向工作台2一侧设有滑板22，滑板22上设有切割头架23。