[实用新型]一种接触式芯片检测设备

权利要求书

1.一种接触式芯片检测设备，其特征在于：包括机架(1)及直接或间接地安装在机架(1)上的顶升检测组件(2)、探针组件(3)、多轴芯片承载组件(4)、摄像组件(5)，所述多轴芯片承载组件(4)用于承载被检测芯片(9)，所述顶升检测组件(2)设置在多轴芯片承载组件(4)底部，顶升检测组件(2)包括芯片检测装置(20)顶升检测组件(2)可驱动芯片检测装置(20)上升并使得芯片检测装置(20)与多轴芯片承载组件(4)上的被检测芯片(9)接触。

2.根据权利要求1所述的一种接触式芯片检测设备，其特征在于：所述顶升检测组件(2)包括直接或间接固定在机架(1)上的检测组件安装板(21)及设置在检测组件安装板(21)上的检测组件水平导轨(221)、检测组件水平气缸(222)，所述检测组件水平导轨(221)上设置有检测组件水平滑动安装板(223)，所述检测组件水平气缸(222)的输出端连接到检测组件水平滑动安装板(223)上并可推动检测组件水平滑动安装板(223)在检测组件水平导轨(221)上滑动，所述检测组件水平滑动安装板(223)上设置有检测组件竖直安装板(23)，所述检测组件竖直安装板(23)上设置有检测组件竖直导轨(231)、检测组件顶升丝杆螺母副(232)及检测组件顶升驱动电机(233)，所述检测组件竖直导轨(231)上设置有检测组件竖直滑动安装座(234)，所述检测组件顶升驱动电机(233)的输出端连接到检测组件顶升丝杆螺母副(232)的丝杆一端，所述检测组件顶升丝杆螺母副(232)的螺母连接到检测组件竖直滑动安装座(234)上，所述检测组件竖直滑动安装座(234)上固定安装有所述的芯片检测装置(20)。

3.根据权利要求2所述的一种接触式芯片检测设备，其特征在于：所述芯片检测装置(20)为积分球检测装置，所述积分球检测装置的上部孔口处设置有透明玻璃盖(202)；

所述检测组件水平气缸(222)通过水平气缸安装座(2221)固定安装在检测组件安装板(21)底部，检测组件水平气缸(222)的输出端通过水平气缸连接块(2222)固定连接到检测组件水平滑动安装板(223)上；

所述检测组件水平滑动安装板(223)侧部设置有水平滑动限位块(2231)，所述检测组件安装板(21)底部设置有配合所述水平滑动限位块(2231)使用的水平滑动限位座(211)，所述水平滑动限位座(211)上设置有弹性限位杆(212)；

所述检测组件顶升驱动电机(233)通过顶升驱动电机安装座(2331)安装在检测组件竖直安装板(23)底部，检测组件顶升驱动电机(233)的输出端设置有检测组件联轴器(236)并通过所述检测组件联轴器(236)连接到检测组件顶升丝杆螺母副(232)的丝杆一端；

所述检测组件竖直安装板(23)侧壁设置有检测组件顶升传感器(2371)，所述检测组件竖直滑动安装座(234)上设置有配合所述检测组件顶升传感器(2371)的检测组件顶升感应片(2372)；

所述检测组件水平滑动安装板(223)通过检测组件水平滑座(2211)安装在检测组件水平导轨(221)上，所述检测组件竖直滑动安装座(234)通过检测组件竖直滑座(2311)安装到检测组件竖直导轨(231)上；

所述检测组件竖直安装板(23)侧部设置有检测组件侧部加强板(238)。

4.根据权利要求1所述的一种接触式芯片检测设备，其特征在于：所述探针组件(3)包括直接或间接安装在机架(1)上的探针组件安装底板(31)，所述探针组件安装底板(31)上设置有开合滑动导轨(311)，所述开合滑动导轨(311)上设置有第一探针滑动安装板(321)及第二探针滑动安装板(322)，所述第一探针滑动安装板(321)上设置有至少一个第一探针模组(33)，所述第二探针滑动安装板(322)上设置有数量匹配第一探针模组(33)的第二探针模组(34)，所述探针组件安装底板(31)上还设置有第一开合驱动气缸(351)及第二开合驱动气缸(352)，所述第一开合驱动气缸(351)的输出端连接到第一探针滑动安装板(321)并可驱动第一探针滑动安装板(321)在开合滑动导轨(311)上滑动，所述第二开合驱动气缸(352)的输出端连接到第二探针滑动安装板(322)上并可驱动第二探针滑动安装板(322)在开合滑动导轨(311)上滑动。