[实用新型]一种紫外探测器的测试装置有效
申请号: | 201922144328.1 | 申请日: | 2019-12-02 |
公开(公告)号: | CN211479982U | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | 杨斌;贾志强;杨理玲 | 申请(专利权)人: | 安瑞创新半导体(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人: | 张铁兰 |
地址: | 518051 广东省深圳市南山区粤海街道高新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 紫外 探测器 测试 装置 | ||
1.一种紫外探测器的测试装置,包括底座(1)、紫外光源(2)和紫外探测器(3),其特征在于,所述底座(1)下端四角处对称安装有支撑腿(6),底座(1)上端设有保护箱(5),保护箱(5)的一侧设有控制箱(4),所述底座(1)上开设有凹槽(7),凹槽(7)内安装有螺杆(8),螺杆(8)的上套装有支撑套(9),支撑套(9)固定连接凹槽(7)的内壁,凹槽(7)右侧内壁安装有轴承(10),所述螺杆(8)通过轴承(10)转动连接底座(1),螺杆(8)远离轴承(10)的一端焊接有转盘(11),螺杆(8)上安装有活动块(12),活动块(12)顶端开设有滑槽(13),滑槽(13)上安装有活动座(14),活动座(14)上固定连接套管(15),套管(15)上插装有活动杆(16),且活动杆(16)通过螺栓与套管(15)固定,活动杆(16)顶端安装有支撑板(17),支撑板(17)顶端安装有夹具(18),夹具(18)上设有紫外光源(2),所述底座(1)上靠近控制箱(4)的一侧通过螺栓固定连接有固定座(19),固定座(19)上端安有套管(15)、活动杆(16)和夹具(18),且夹具(18)上设有紫外探测器(3)。
2.根据权利要求1所述的一种紫外探测器的测试装置,其特征在于,所述底座(1)上对称安装有轴座(21),两个所述轴座(21)之间插装有转轴(20)。
3.根据权利要求1所述的一种紫外探测器的测试装置,其特征在于,所述保护箱(5)固定连接转轴(20),保护箱(5)通过转轴(20)转动连接底座(1)。
4.根据权利要求1所述的一种紫外探测器的测试装置,其特征在于,所述夹具(18)包括固定夹(22),固定夹(22)的另一侧设有活动夹(23),活动夹(23)的另一端连接调节螺栓(24)。
5.根据权利要求4所述的一种紫外探测器的测试装置,其特征在于,所述调节螺栓(24)螺纹连接螺纹套(25),螺纹套(25)固定连接支撑板(17)。
6.根据权利要求1所述的一种紫外探测器的测试装置,其特征在于,所述紫外探测器(3)电线连接控制箱(4)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造