[实用新型]一种新型的靶材邦定机构

说明书

本实用新型公开一种新型的靶材邦定机构，包括一具有加热与冷却的组件、设置该组件内的一靶材机构、与该组件配合且设置在靶材机构内的一芯杆加热器、以及与芯杆加热器连接的一驱动机构。本实用新型采用靶材及靶筒相对固定，而具有加热与冷却的组件能控制冷却与加热的切换，使得靶材一次冷态安装就可以完成邦定过程，并且大大降低了对邦定车间厂房高度的要求；如此，对近4米的靶材，只需约8米多的厂房就可以工作降低厂房高度要求，节约厂房成本；降低安装次数、劳动强度，改善生产条件；改善产品品质，使过程更受控。

技术领域

本实用新型涉及靶材镀膜技术领域，特别涉及一种新型的靶材邦定机构。

背景技术

陶瓷溅射靶材为节能玻璃、太阳能玻璃镀膜所广泛利用，因为陶瓷靶材脆性，加工性差的局限性，必须将其用喷涂方法喷涂到金属衬管上，或者采用高温烧结、加工后用低熔点金属浇铸(又称焊接)邦定的方法将其固定在高强度的金属管上，如钛管，不锈钢管等；因为烧结靶材的性能远远优于喷涂靶材，邦定技术也就成为一种高品质靶材的关键技术。

第一，现有的邦定系统及技术是采用加热冷却系统固定，而靶筒(不锈钢靶材内衬管)和靶材上下移动可以适应不同长度的靶材，但需要的厂房高度特别高，需要11米以上的高厂房才能满足一条3米多靶材邦定的要求，这就成了邦定车间对厂房需求的很大限制，使得工厂对厂房高度要求的成本大大上升。

第二，靶材在邦定过程中需要反复安装几次才能完成一条靶材的邦定工作，使得安装拆卸的工作量很大，而且需要在热态下进行，大大降低了劳动生产效率，并且因而引进了产生邦定缺陷的可能性。

实用新型内容

为了克服现有工艺设备的厂房高度要求高、安装劳动强度大，工作环境(高温易烫)差，产品质量不稳定，不受控的问题，降低生产过程对高厂房的依赖性，提高工效和降低劳动强度，本实用新型创提供一种新型的靶材邦定机构，在降低厂房成本、降低劳动强度的情况下使品质更受控。

为了实现上述目的，本实用新型技术方案如下：

一种新型的靶材邦定机构，包括一具有加热与冷却的组件、设置该组件内的一靶材机构、与该组件配合且设置在靶材机构内的一芯杆加热器、以及与芯杆加热器连接的一驱动机构。

较佳地，所述靶材机构包括一靶材、以及设置靶材内的一靶筒；所述具有加热与冷却的组件用于给靶材加热与冷却，与之配合的芯杆加热器设置在靶筒内，用于给靶筒加热。

较佳地，所述具有加热与冷却的组件包括一铝部件、以及浇铸在铝部件内一加热器与一第一冷却器。

较佳地，所述新型的靶材邦定机构还包括一第二冷却器，该第二冷却器设置在靶筒下方且与芯杆加热器连接。

较佳地，所述新型的靶材邦定机构还包括支撑座，靶筒与靶材对应设置在支撑座上。

较佳地，所述新型的靶材邦定机构还包括支撑杆、该支撑杆设置在支撑座之间，对应的第二冷却器设置在支撑杆上。

较佳地，所述新型的靶材邦定机构还包括一冷却管，该冷却管设置在第二冷却器底部。

较佳地，所述第二冷却器的外径小于靶筒内径。

较佳地，所述驱动机构为电动葫芦，该电路葫芦能带动驱动芯杆加热器在靶筒内上下运动，进而带动第二冷却器在靶筒内上下运动。

采用本实用新型的技术方案，具有以下有益效果：本实用新型采用靶材及靶筒相对固定，而具有加热与冷却的组件能控制冷却与加热的切换，使得靶材一次冷态安装就可以完成邦定过程，并且大大降低了对邦定车间厂房高度的要求；如此，对近4米的靶材，只需约8米多的厂房就可以工作降低厂房高度要求，节约厂房成本；降低安装次数、劳动强度，改善生产条件；改善产品品质，使过程更受控。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；