[实用新型]一种新型的靶材邦定机构

权利要求书

1.一种新型的靶材邦定机构，其特征在于，包括一具有加热与冷却的组件、设置该组件内的一靶材机构、与该组件配合且设置在靶材机构内的一芯杆加热器、以及与芯杆加热器连接的一驱动机构。

2.根据权利要求1所述的新型的靶材邦定机构，其特征在于，所述靶材机构包括一靶材、以及设置靶材内的一靶筒；所述具有加热与冷却的组件用于给靶材加热与冷却，与之配合的芯杆加热器设置在靶筒内，用于给靶筒加热。

3.根据权利要求2所述的新型的靶材邦定机构，其特征在于，所述具有加热与冷却的组件包括一铝部件、以及浇铸在铝部件内一加热器与一第一冷却器。

4.根据权利要求2所述的新型的靶材邦定机构，其特征在于，所述新型的靶材邦定机构还包括一第二冷却器，该第二冷却器设置在靶筒下方且与芯杆加热器连接。

5.根据权利要求4所述的新型的靶材邦定机构，其特征在于，所述新型的靶材邦定机构还包括支撑座，靶筒与靶材对应设置在支撑座上。

6.根据权利要求5所述的新型的靶材邦定机构，其特征在于，所述新型的靶材邦定机构还包括支撑杆、该支撑杆设置在支撑座之间，对应的第二冷却器设置在支撑杆上。

7.根据权利要求4所述的新型的靶材邦定机构，其特征在于，所述新型的靶材邦定机构还包括一冷却管，该冷却管设置在第二冷却器底部。

8.根据权利要求7所述的新型的靶材邦定机构，其特征在于，所述第二冷却器的外径小于靶筒内径。

9.根据权利要求8所述的新型的靶材邦定机构，其特征在于，所述驱动机构为电动葫芦，该电动葫芦能驱动芯杆加热器在靶筒内上下运动，进而带动第二冷却器在靶筒内上下运动。