[实用新型]一种气体流量控制装置

权利要求书

1.一种气体流量控制装置，其特征在于：包括出气装置(2)，所述的出气装置(2)内设置有第二空腔(207)，第二空腔(207)连通供气侧装置和用气侧装置，且第二空腔(207)与供气侧装置和/或用气侧装置之间设置有流量控制结构，所述的流量控制结构包括若干连通第二空腔(207)的排气孔，所述的每个排气孔均由单独的控制阀(225)控制通断。

2.根据权利要求1所述的气体流量控制装置，其特征在于：所述的排气孔至少包括口径为c的粗输气通道、口径为b的中输气通道和口径为a的细输气通道，其中c＝4b＝16a。

3.根据权利要求2所述的气体流量控制装置，其特征在于：所述的细输气通道的数量为四，所述的中输气通道的数量为四，且所述的粗输气通道的数量为六。

4.根据权利要求1所述的气体流量控制装置，其特征在于：所述的供气侧装置与第二空腔(207)之间设置有第三空腔(208)，所述的第三空腔(208)的腔径大于第二空腔(207)的腔径，且第三空腔(208)与第二空腔(207)连通。

5.根据权利要求1所述的气体流量控制装置，其特征在于：所述的出气装置(2)包括分流体(201)，所述的第二空腔(207)和第三空腔(208)均设置在分流体(201)上且贯穿分流体(201)，分流体(201)的一端设置第二底部盖板(202)并封闭第二空腔(207)和第三空腔(208)在该端的端口；分流体(201)的另一端设置有出气盖板(203)并封闭第二空腔(207)和第三空腔(208)在该端的端口，出气盖板(203)上设置有连通第二空腔(207)的出气接口(204)。

6.根据权利要求5所述的气体流量控制装置，其特征在于：所述的第二底部盖板(202)上设置有压力传感器，压力传感器用于测量第二空腔(207)和第三空腔(208)内的气压值。

7.根据权利要求5所述的气体流量控制装置，其特征在于：所述的第三空腔(208)内的气体进入控制阀(225)内，再由控制阀(225)进入第二空腔(207)。

8.根据权利要求5所述的气体流量控制装置，其特征在于：所述的分流体(201)上设置有连通第三空腔(208)的第二孔道(228)，供气侧装置的气体通过第二孔道(228)进入第三空腔(208)内。

9.根据权利要求8所述的气体流量控制装置，其特征在于：所述的控制装置还包括进气装置(1)，所述的进气装置(1)包括本体(101)，本体(101)内设置有第一空腔(104)，第一空腔(104)连通气源，并为出气装置(2)供气；本体(101)上设置有连通第一空腔(104)的第一孔道(108)，第一空腔(104)内的气体从第一孔道(108)内排出并输送至出气装置(2)。

10.根据权利要求9所述的气体流量控制装置，其特征在于：所述的第一空腔(104)贯穿本体(101)，本体(101)的一端设置有第一底部盖板(102)并封闭第一空腔(104)在该端的端口；本体(101)的另一端设置有进气盖板(103)并封闭第一空腔(104)在该端的端口，所述的进气盖板(103)上设置有连通第一空腔(104)的进气接口(112)。

11.根据权利要求9所述的气体流量控制装置，其特征在于：所述的进气装置(1)与出气装置(2)之间还设置有减压阀(3)，减压阀(3)的进气口侧(301)与进气装置(1)的第一孔道(108)连通，减压阀(3)的出气口侧(302)与出气装置(2)的第二孔道(228)连通。

12.根据权利要求1所述的气体流量控制装置，其特征在于：所述的进气装置(1)与出气装置(2)之间还设置有连接装置(4)。

13.根据权利要求1所述的气体流量控制装置，其特征在于：所述的控制装置还包括控制电路板(224)，控制电路板(224)用于启停控制阀(225)；控制电路板(224)连接有信号输入端口(206)，信号输入端口(206)用于外部开度信号的输入。