[实用新型]MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：

衬底；

位于所述衬底第一表面上的膜片和背极板电极，所述膜片与所述背极板电极彼此隔开，所述膜片的第一表面与所述背极板电极的第一表面彼此相对；以及

贯穿所述衬底到达所述膜片的第二表面的声腔，

其中，所述膜片的周边部分的部分区域为不连续区域。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述膜片的周边部分的边缘不连续。

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述周边部分的边缘为锯齿状，所述锯齿状的多个缺口形成所述不连续区域。

4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述周边部分的不连续区域包括镂空结构，所述镂空结构包括多个通孔。

5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述通孔形状包括圆形、梯形或者多边形。

6.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述膜片周边部分的边缘由多个圆弧边连接。

7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述膜片还包括：中间部分、以及连接所述中间部分和所述周边部分的弹簧结构。

8.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括：

位于所述膜片和所述衬底之间的第一隔离层，所述声腔贯穿所述第一隔离层；以及

位于所述背极板电极和所述膜片之间的第二隔离层，

其中，所述膜片的周边部分的至少部分区域被夹持在所述第一隔离层和所述第二隔离层之间。

9.根据权利要求8所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括：

第一保护层和第二保护层，所述背极板电极位于所述第一保护层和所述第二保护层之间，所述第一保护层位于所述第二隔离层与所述背极板电极之间。

10.根据权利要求9所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括：

多个释放孔，所述多个释放孔贯穿所述第一保护层、所述背极板电极和所述第二保护层；以及

空腔，位于所述第二隔离层中，所述空腔与所述释放孔连通，并且所述空腔暴露所述膜片的第一表面。

11.根据权利要求10所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述多个释放孔排列成矩形阵列或者错开的矩形阵列或者圆形阵列。

12.根据权利要求9所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括：

第一引线，穿过所述第二保护层、所述第一保护层、以及所述第二隔离层到达所述膜片的第一表面；以及

第二引线，穿过所述第二保护层到达所述背极板电极的第二表面。