[实用新型]晶舟倾斜定点自动感应装置

说明书

本实用新型公开了一种晶舟倾斜定点自动感应装置，包括载台、传感器和镜面反射点，所述载台用于承载所述晶舟，所述传感器可拆卸设置在所述载台上，所述传感器包括光源发射端和光源接收端，所述镜面反射点包括第一镜面反射点，所述晶舟设置有所述第一镜面反射点，所述第一镜面反射点用于反射所述光源发射端发出的光，并形成特定光路。通过在晶舟上设置镜面反射点，晶舟只有在晶舟正确放置在载台时所形成的反射光路才能使传感器感应到，从而确定晶舟没有发生特定方位的倾斜。整个结构灵活巧妙，可以根据不同要求调整传感器的角度；镜面反光点可拆卸设置在晶舟上，适用于任何机台使用的晶舟。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备制作领域，尤其涉及一种晶舟倾斜定点自动感应装置。

背景技术

在半导体制作领域中，晶舟用于承载晶片，晶片在制程的过程中最好是保持水平。现有技术大部分是在晶舟外设置传感器来判断晶舟是否发生倾斜，其中电容式接近传感器只有单独感应是否有晶舟，接触式传感器无法判定晶舟是否倾斜，专利201310506775.1的晶舟倾斜自动感应装置无法感应同一水平的倾斜。

实用新型内容

为此，需要提供一种晶舟倾斜定点自动感应装置，解决无法同时判断晶舟多个方位的倾斜。

为实现上述目的，发明人提供了一种晶舟倾斜定点自动感应装置，包括载台、传感器和镜面反射点，所述载台用于承载所述晶舟，所述传感器可拆卸设置在所述载台上，所述传感器包括光源发射端和光源接收端，所述光源接收端用于接收所述光源发射端发出的光，所述镜面反射点包括第一镜面反射点，所述晶舟设置有所述第一镜面反射点，所述第一镜面反射点用于反射所述光源发射端发出的光，所述晶舟正确放置在载台时所述第一镜面反射点反射光到光源接收端。

进一步地，所述传感器可拆卸设置在所述载台的内部，所述载台上设置有供所述光源发射端发出的光通过的槽。

进一步地，所述镜面反射点还包括第二镜面反射点，所述第二镜面反射点设置在所述载台的内部，所述第二镜面反射点用于在所述晶舟正确放置在载台时反射第一镜面反射点的光到光源接收端。

进一步地，所述镜面反射点的大小与所述光源发射端发出光的大小相等。

进一步地，所述第一镜面反射点粘贴在晶舟上。

进一步地，所述第一镜面反射点设置在晶舟底部。

区别于现有技术，上述技术方案通过在晶舟的侧面上设置镜面反射点，再配合传感器的感应功能，晶舟只有在晶舟正确放置在载台时，所形成的反射光路才能使传感器的光源接收端感应到，从而确定晶舟没有发生特定方位的倾斜。整个结构灵活巧妙，可以根据不同要求调整传感器的角度；镜面反光点可拆卸设置在晶舟上，适用于任何机台使用的晶舟。

附图说明

图1为本实施例所述晶舟倾斜定点自动感应装置的结构正视图；

图2为本实施例一所述晶舟倾斜定点自动感应装置的结构侧视图；

图3为另一个实施例所述晶舟倾斜定点自动感应装置的结构示意图一；

图4为另一个实施例所述晶舟倾斜定点自动感应装置的结构示意图二；

图5为本实施例所述晶舟处于正确放置状态的结构示意图；

图6为本实施例所述晶舟处于左右倾斜状态的结构示意图；

图7为本实施例所述晶舟处于前后倾斜状态的结构示意图；

图8为本实施例所述晶舟处于上下倾斜状态的结构示意图；

附图标记说明：

1、载台；

2、传感器；

3、光源发射端；