[实用新型]晶舟倾斜定点自动感应装置有效
申请号: | 201922117480.0 | 申请日: | 2019-12-02 |
公开(公告)号: | CN210922587U | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | 许靖彬;徐智文 | 申请(专利权)人: | 福建省福联集成电路有限公司 |
主分类号: | G01C9/00 | 分类号: | G01C9/00;G01C9/06 |
代理公司: | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人: | 徐剑兵;张忠波 |
地址: | 351117 福建省莆*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 倾斜 定点 自动 感应 装置 | ||
1.一种晶舟倾斜定点自动感应装置,其特征在于,包括载台、传感器和镜面反射点,所述载台用于承载所述晶舟,所述传感器设置在所述载台上,所述传感器包括光源发射端和光源接收端,所述光源接收端用于接收所述光源发射端发出的光,所述镜面反射点包括第一镜面反射点,所述晶舟设置有所述第一镜面反射点,所述第一镜面反射点用于反射所述光源发射端发出的光,所述晶舟正确放置在载台时所述第一镜面反射点反射光到光源接收端。
2.根据权利要求1所述的一种晶舟倾斜定点自动感应装置,其特征在于,所述传感器可拆卸设置在所述载台的内部,所述载台上设置有供所述光源发射端发出的光通过的槽。
3.根据权利要求1所述的一种晶舟倾斜定点自动感应装置,其特征在于,所述镜面反射点还包括第二镜面反射点,所述第二镜面反射点设置在所述载台的内部,所述第二镜面反射点用于在所述晶舟正确放置在载台时反射第一镜面反射点的光到光源接收端。
4.根据权利要求1所述的一种晶舟倾斜定点自动感应装置,其特征在于,所述镜面反射点的大小与所述光源发射端发出光的大小相等。
5.根据权利要求1所述的一种晶舟倾斜定点自动感应装置,其特征在于,所述第一镜面反射点粘贴在晶舟上。
6.根据权利要求1所述的一种晶舟倾斜定点自动感应装置,其特征在于,所述第一镜面反射点设置在晶舟底部。
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