[实用新型]声学换能器

权利要求书

1.一种声学换能器，其特征在于，所述声学换能器包括：

换能器基板，在所述换能器基板中限定了孔；

振膜，所述振膜设置在所述换能器基板上，所述振膜包括：

振膜内侧部分，所述振膜内侧部分按所述振膜内侧部分的外边缘沿所述孔的边沿径向向内定位的方式设置在所述孔上方，所述振膜内侧部分具有第一应力，以及

振膜外侧部分，所述振膜外侧部分从所述振膜内侧部分的所述外边缘起沿径向延伸到至少所述孔的所述边沿，所述振膜外侧部分具有与所述第一应力不同的第二应力；以及

背板，所述背板与所述振膜隔开地设置在所述换能器基板上。

2.根据权利要求1所述的声学换能器，其特征在于，所述第一应力是压缩应力，所述第二应力是拉伸应力。

3.根据权利要求1或2所述的声学换能器，其特征在于，所述振膜内侧部分包括多晶硅，并且所述振膜外侧部分包括氮化硅。

4.根据权利要求1或2所述的声学换能器，其特征在于，所述振膜的净应力小于10MPa。

5.根据权利要求1或2所述的声学换能器，其特征在于，所述振膜内侧部分的第一厚度在所述振膜外侧部分的第二厚度的95％到105％的范围内。

6.根据权利要求1或2所述的声学换能器，其特征在于，所述振膜内侧部分包括交叠部分，该交叠部分从所述振膜内侧部分的所述外边缘延伸以与所述振膜外侧部分的内边缘交叠。

7.根据权利要求6所述的声学换能器，其特征在于，所述交叠部分的从所述振膜外侧部分的所述内边缘到所述交叠部分的外边缘测量到的径向长度在所述振膜外侧部分的厚度的3倍到10倍的范围内。

8.根据权利要求1或2所述的声学换能器，其特征在于，该声学换能器与麦克风组装件相组合，所述麦克风组装件包括：

基部，

外壳，该外壳设置在所述基部上；

所述声学换能器，所述声学换能器设置在所述基部或者所述外壳上，并且所述声学换能器被配置成响应于声学活动而生成电信号；以及

集成电路，所述集成电路电联接至所述声学换能器，并且所述集成电路被配置成从所述声学换能器接收所述电信号。

9.根据权利要求8所述的声学换能器，其特征在于，所述振膜内侧部分包括多晶硅，并且所述振膜外侧部分包括氮化硅。

10.根据权利要求8所述的声学换能器，其特征在于，所述振膜的总净应力小于10MPa。