[实用新型]一种湿法蚀刻机台

说明书

本实用新型公开了一种湿法蚀刻机台，所述湿法蚀刻机台为密闭的腔室，包括载入端结构；所述载入端结构包括第一感应门、载入端、第一传导机构和传感器，所述湿法蚀刻机台的一侧设置有所述第一感应门，所述载入端位于所述湿法蚀刻机台内，所述第一传导机构的一端与所述第一感应门连接，所述第一传导机构的另一端与所述载入端连接，所述第一传导机构的一部分延伸到所述第一感应门外，所述晶舟放置在所述第一传导机构上，所述湿法蚀刻机台上设置有多个传感器。无需操作人员提前开启第一感应门，只需将晶舟放到机台外部的载台上，消除机台内的挥发性化学液体扩散到机台外对人体造成危害，同时缩短操作人员的操作时间，提高效率，安全可靠。

技术领域

本实用新型涉及湿法刻蚀设备技术领域，尤其涉及一种湿法刻蚀机台。

背景技术

湿法蚀刻机台门的设计不灵活，操作人员必须提前到机台前开启门，机台的门开启后，需要把手和身子伸进一部分，才可以把晶舟(cassette)放到载入端，这过程中机台内易挥发的化学液体容易挥发到机台外端，并且操作人员也容易呼吸接触到，带来安全隐患。

实用新型内容

为此，需要提供一种湿法蚀刻机台，解决操作人员需要把手和身子伸进一部分，才可以把晶舟放到载入端的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种湿法蚀刻机台，所述湿法蚀刻机台为密闭的腔室，包括载入端结构；所述载入端结构包括第一感应门、载入端、第一传导机构和传感器，所述湿法蚀刻机台的一侧设置有所述第一感应门，所述载入端位于所述湿法蚀刻机台内，所述第一传导机构的一端与所述第一感应门连接，所述第一传导机构的另一端与所述载入端连接，所述第一传导机构的一部分延伸到所述第一感应门外，所述晶舟放置在所述第一传导机构上，所述第一传导机构用于传送所述晶舟，所述湿法蚀刻机台上设置有多个传感器，所述多个传感器用于分别感应所述晶舟和第一传导机构的传导位置。

进一步地，还包括载出端结构，所述载出端结构与所述载入端结构相对称，所述载出端结构包括设置在所述湿法蚀刻机台另一侧的第二感应门、载出端、第二传导机构和传感器，所述第一感应门和所述第二感应门为两个相同的感应门，所述第一传导机构和所述第二传导机构为两个相同的传导机构。

进一步地，所述传导机构包括有导轨和载台，所述载台的底部设置有滑轮，所述载台通过滑轮与导轨的配合进行往返运动。

进一步地，所述感应门包括中间门和大门，所述大门的一端铰接于所述湿法蚀刻机台，所述中间门设置在导轨中间位置，所述中间门为滑动门，所述大门具有开口，所述开口和所述中间门之间具有连接板。

进一步地，所述连接板上设置有容纳所述导轨的槽，所述导轨连接于所述连接板上的槽。

进一步地，所述大门、所述中间门和所述连接板之间设置有有密封圈。

进一步地，所述载台上相向分布有数量至少为2个的卡环，所述卡环用于固定晶舟。

进一步地，包括压力传感器或者红外传感器，所述压力传感器设置在所述载台上，所述压力传感器用于感应所述晶舟的存在，所述红外传感器设置在所述感应门上，所述红外传感器感应所述载台的存在。

进一步地，在所述载入端上设置有位置传感器，所述位置传感器感应进入所述载入端的所述载台。

进一步地，所述载入端上设置有手臂抓夹传感器，在所述载入端的上方设置有手臂抓夹，所述手臂抓夹传感器感应进入所述载入端的所述晶舟，所述手臂抓夹用于抓取所述晶舟。

区别于现有技术，上述技术方案中第一传导机构和第一感应门进行配合，无需操作人员提前开启第一感应门，只需将晶舟放到机台外部的载台上，第一传导机构将晶舟传送到机台内部的特定位置上，消除机台内的挥发性化学液体扩散到机台外对人体造成危害，同时缩短操作人员的操作时间，提高效率，安全可靠。

附图说明