[实用新型]一种硅片插片机用分离装置

权利要求书

1.一种硅片插片机用分离装置，其特征在于，包括用于放置水平硅片的弹夹机构、用于分离所述硅片的喷射机构以及用于吸附被分离所述硅片的负压机构，所述弹夹机构为单侧开口的槽型结构，所述弹夹机构底面与所述硅片平行设置；所述喷射机构置于所述弹夹机构开口一侧且与所述硅片垂直设置；所述负压机构置于所述弹夹机构正上方；其中，所述喷射机构包括对位设置的喷射柱，在所述喷射柱上设有若干喷水孔，从两侧所述喷水孔喷出的水均朝向所述硅片移动方向的中间轴线设置，所述喷水孔相对于所述硅片上端面倾斜向下设置。

2.根据权利要求1所述的一种硅片插片机用分离装置，其特征在于，在所述喷射柱上设有竖直设置的两列所述喷水孔，每排所述喷水孔数量为两个；所述喷水孔从上到下与所述硅片上端面形成的夹角依次增大，所述夹角角度为10-25°；每排所述喷水孔与所述硅片上端面形成的夹角相同。

3.根据权利要求2所述的一种硅片插片机用分离装置，其特征在于，每列所述喷水孔数量为四个，所述喷水孔与所述硅片形成的夹角依次为10°、15°、20°和25°。

4.根据权利要求1-3任一项所述的一种硅片插片机用分离装置，其特征在于，所述喷水孔均匀设置在所述喷射柱的同一壁面上，所述喷水孔置于所述喷射柱高度方向上且同列并行设置；所述喷水孔孔径和孔深相同。

5.根据权利要求4所述的一种硅片插片机用分离装置，其特征在于，所述喷射柱为竖直设置的多边形结构，所述喷水孔所在侧面倾斜设置并与靠近所述硅片移动方向成锐角夹角。

6.根据权利要求5所述的一种硅片插片机用分离装置，其特征在于，所述锐角夹角为30-60°。

7.根据权利要求6所述的一种硅片插片机用分离装置，其特征在于，在所述喷射柱顶面设有通水孔，所述通水孔沿所述喷射柱高度方向设置，且所述通水孔与所述喷水孔互通。

8.根据权利要求1-3、5-7任一项所述的一种硅片插片机用分离装置，其特征在于，所述弹夹机构包括底板和沿所述底板三侧端面竖直设置的立板，所述立板高度大于所述喷射柱高度；所述硅片沿所述底板开口处向外移动。

9.根据权利要求8所述的一种硅片插片机用分离装置，其特征在于，相邻所述喷射柱下端面均固定在水平设置的支撑板上，所述喷射柱通过连接架与所述底板连接。

10.根据权利要求1-3、5-7、9任一项所述的一种硅片插片机用分离装置，其特征在于，所述负压机构包括水平设置的负压板和置于所述负压板两侧的滚轮组件，所述滚轮组件沿所述负压板长度方向设置；在所述负压板上设有吸附孔和连接管，所述吸附孔与所述连接管互通连接。