[实用新型]磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头

说明书

本实用新型提供了一种磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头，包括用于承载靶材的法兰以及端部与法兰连接的旋转轴，所述旋转轴为中空结构且内部设置有伸入法兰的水管，所述水管的空腔与水管和旋转轴之间的间隙连通构成冷却水循环通道，所述法兰的内周面设置有环形凸起，所述水管上套设有可沿轴向滑动的环形接头以及抵住环形接头使其与环形凸起密封配合的复位弹簧，所述环形接头与水管之间具有供冷却水通过的间隙。本实用新型的环形接头设于旋转轴的内部，使得端头整体结构更加紧凑，另外当法兰和环形接头相对转动而出现磨损，复位弹簧也可以推动环形接头复位，让两者始终保持密封配合，避免经常更换。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备，特别是涉及磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头。

背景技术

旋转阴极是磁控溅射真空镀膜设备最主要的部件，它主要包括靶材和端头，其中端头用于驱动靶材旋转以及引入电极和冷却水。如CN209144248U公开了了一种旋转阴极，主要解决水密封问题。

又如CN107058965公开了一种内置旋转阴极结构，包括阴极门，所述阴极门的一侧下端设置有电机座，电机座的上端设置有靶电机，靶电机固定安装在电机座上，电机座的下端设置有同步轮；所述阴极门的另一侧设置有下端座和上端座；所述下端座的上端设置有下端盖、靶管和上端盖，同步轮与下端盖固定连接；所述下端盖的下端设置有磁流体，其中所述的下端盖即是驱动装置。

再如CN201746585U公开了一种真空磁控溅射镀膜用旋转阴极驱动装置，包括聚甲醛基座、驱动头壳体、驱动轴、驱动齿轮、从动齿轮，所述驱动齿轮设置在驱动轴下端，所述驱动齿轮为锥齿轮，所述从动齿轮为锥形齿轮，所述驱动齿轮与从动齿轮通过锥齿轮传动方式进行传动。

以上专利公开的旋转阴极端头均是通过与电刷配合连接外部电源，因电刷不可以浸泡在水里，所以一般需要在驱动装置侧方设置安装空间，导致结构不够紧凑，另外电刷容易磨损，经常需要进行更换。

实用新型内容

本实用新型提供了一种磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头，解决了传统端头使用电刷与外部电源连接，导致结构紧凑，需要经更换电刷的问题。

一种磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头，包括用于承载靶材的法兰以及端部与法兰连接的旋转轴，所述旋转轴为中空结构且内部设置有伸入法兰的水管，所述水管的空腔与水管和旋转轴之间的间隙连通构成冷却水循环通道，所述法兰的内周面设置有环形凸起，所述水管上套设有可沿轴向滑动的环形接头以及抵住环形接头使其与环形凸起密封配合的复位弹簧，所述环形接头与水管之间具有供冷却水通过的间隙。

以下还提供了若干可选方式，但并不作为对上述总体方案的额外限定，仅仅是进一步的增补或优选，在没有技术或逻辑矛盾的前提下，各可选方式可单独针对上述总体方案进行组合，还可以是多个可选方式之间进行组合。

可选的，所述环形凸起的下端面与环形接头密封配合，所述环形凸起的上端面为具有汇流功能的斜面。

可选的，包括套设在水管上的轴环。

可选的，包括套设在水管上分别紧贴轴环上下两个端面的紧固环和垫环，所述复位弹簧的上下两端分别抵住环形接头和轴环。

可选的，所述水管的外周面设置有限制垫环轴向移动的限位台阶。

可选的，包括两端分别连接环形接头和紧固环的导电织带。

可选的，所述导电织带被压板压住，贴靠环形接头和紧固环。

可选的，所述导电织带为两根，且对称布置。

可选的，所述旋转轴的端部与法兰的内周面密封配合。

可选的，所述环形接头通过贯穿水管和环形接头的销轴固定在水管上，所述环形接头上具有供销轴通过的沿轴向延伸的条形孔。