[实用新型]磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头

权利要求书

1.一种磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头，包括用于承载靶材的法兰以及端部与法兰连接的旋转轴，所述旋转轴为中空结构且内部设置有伸入法兰的水管，所述水管的空腔与水管和旋转轴之间的间隙连通构成冷却水循环通道，其特征在于，所述法兰的内周面设置有环形凸起，所述水管上套设有可沿轴向滑动的环形接头以及抵住环形接头使其与环形凸起密封配合的复位弹簧，所述环形接头与水管之间具有供冷却水通过的间隙。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头，其特征在于，所述环形凸起的下端面与环形接头密封配合，所述环形凸起的上端面为具有汇流功能的斜面。

3.根据权利要求1所述的磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头，其特征在于，包括套设在水管上的轴环。

4.根据权利要求3所述的磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头，其特征在于，包括套设在水管上分别紧贴轴环上下两个端面的紧固环和垫环，所述复位弹簧的上下两端分别抵住环形接头和轴环。

5.根据权利要求4所述的磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头，其特征在于，所述水管的外周面设置有限制垫环轴向移动的限位台阶。

6.根据权利要求4所述的磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头，其特征在于，包括两端分别连接环形接头和紧固环的导电织带。

7.根据权利要求6所述的磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头，其特征在于，所述导电织带被压板压住，贴靠环形接头和紧固环。

8.根据权利要求6或7所述的磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头，其特征在于，所述导电织带为两根，且对称布置。

9.根据权利要求1所述的磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头，其特征在于，所述旋转轴的端部与法兰的内周面密封配合。

10.根据权利要求1所述的磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头，其特征在于，所述环形接头通过贯穿水管和环形接头的销轴固定在水管上，所述环形接头上具有供销轴通过的沿轴向延伸的条形孔。