[实用新型]滚筒式磁控溅射镀膜机

权利要求书

1.一种滚筒式磁控溅射镀膜机，其特征在于，包括溅射滚筒、滚筒座以及驱动装置；所述溅射滚筒具有用于进行磁控溅射的溅射内腔，所述溅射滚筒设置在所述滚筒座上并与所述驱动装置连接以由所述驱动装置驱动转动，所述滚筒座上设置有导电滚轮，所述导电滚轮的轮面抵接于所述溅射滚筒的外侧壁上，所述导电滚轮的径向与所述溅射滚筒的轴向垂直，所述导电滚轮用于传输电流至所述溅射滚筒上以对所述溅射内腔中的待镀工件施加偏压。

2.如权利要求1所述的滚筒式磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述导电滚轮包括多个第一导电滚轮，所述溅射滚筒由多个所述第一导电滚轮共同支撑。

3.如权利要求2所述的滚筒式磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述滚筒座包括支架以及设置在所述支架上的第一支撑轴和第二支撑轴，所述第一支撑轴和所述第二支撑轴相对设置，所述第一支撑轴和所述第二支撑轴均与所述溅射滚筒的轴向平行，所述第一支撑轴和所述第二支撑轴上均设置有多个所述第一导电滚轮。

4.如权利要求2所述的滚筒式磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述溅射滚筒的外侧壁设置有多条限位轨道，多条所述限位轨道沿所述溅射滚筒的周向环绕在所述溅射滚筒上，所述第一导电滚轮与所述限位轨道滚动配合。

5.如权利要求2～4任一项所述的滚筒式磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述导电滚轮还包括第二导电滚轮，所述滚筒座上设置有杠杆和拉伸弹簧，所述杠杆可转动连接于所述滚筒座，所述杠杆的两端分别连接于所述第二导电滚轮和所述拉伸弹簧，在所述拉伸弹簧的拉力下，所述杠杆将所述第二导电滚轮的轮面压在所述溅射滚筒的外侧壁上。

6.如权利要求1～4任一项所述的滚筒式磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述溅射滚筒的外侧壁设置有齿环，所述齿环沿所述溅射滚筒的周向环绕在所述溅射滚筒上，所述驱动装置包括电机以及由所述电机驱动转动的齿轮，所述齿轮和所述齿环传动配合。

7.如权利要求1～4任一项所述的滚筒式磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述溅射滚筒包括内筒和外筒，所述外筒套设在所述内筒上，所述内筒能够移入或移出所述外筒，所述内筒具有所述溅射内腔。

8.如权利要求7所述的滚筒式磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述内筒和所述外筒通过直线形的限位槽和活动嵌设在所述限位槽中的限位凸条配合连接，所述内筒和所述外筒通过所述限位凸条和所述限位槽的内壁进行电流传导。

9.如权利要求8所述的滚筒式磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述内筒和所述外筒还通过导电线连接。

10.如权利要求1～4、8、9任一项所述的滚筒式磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述溅射内腔的内壁设置有多个搅拌叶。