[实用新型]去蜡溶液取片设备有效
| 申请号： | 201922022247.4 | 申请日： | 2019-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN210968878U | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 陈良 | 申请（专利权）人： | 江苏索尔思通信科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/02 | 分类号： | B25J9/02;B25J9/10;B25J15/00;B08B7/00;H01S5/02 |
| 代理公司： | 南京勤行知识产权代理事务所(普通合伙) 32397 | 代理人： | 罗柱平 |
| 地址： | 213200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溶液 设备 | ||
【权利要求书】：
1.去蜡溶液取片设备，包括支撑架，其底部托有烤盘，其特征在于，所述烤盘上设定位柱，内置定位桩的蜡液槽可卡装在所述定位柱上，待晶圆去蜡的研磨盘设在蜡液槽的定位桩上，所述支撑架顶部设有旋转手臂，旋转手壁转动连接机箱，机箱内设有伺服升降模组驱动装置以及控制装置，料盒可拆卸的安装在伺服升降模组伸出机箱部分的下部。
2.根据权利要求1所述的去蜡溶液取片设备，其特征在于，所述控制装置包括控制伺服升降的升降开关和烤盘加热开关。
3.根据权利要求1所述的去蜡溶液取片设备，其特征在于，所述料盒为三侧挡板组成，所述料盒从下至上至少有两层存放槽，所述存放槽上方设有加强板。
4.根据权利要求3所述的去蜡溶液取片设备，其特征在于，所述存放槽上设有防护结构或加设防滑条。
5.根据权利要求3所述的去蜡溶液取片设备，其特征在于，左右挡板上设多对对称环形孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏索尔思通信科技有限公司，未经江苏索尔思通信科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201922022247.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种直拉法单晶用真空吸盘
- 下一篇：一种钢筋桁架楼承板加工用水洗烘干设备
