[实用新型]一种背表面钝化电池片镀膜设备有效
| 申请号: | 201922017250.7 | 申请日: | 2019-11-20 |
| 公开(公告)号: | CN210856328U | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
| 发明(设计)人: | 杨金鑫;谢凤兰;刘燕;唐正海 | 申请(专利权)人: | 盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C23C16/04;C23C16/40;C23C16/34;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
| 地址: | 224000 江苏省盐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 表面 钝化 电池 镀膜 设备 | ||
本实用新型公开了一种背表面钝化电池片镀膜设备,其包括电池载板、运输装置和沉积装置,电池载板用于承载电池片,电池载板包括支撑板和遮挡板,支撑板位于遮挡板上方,支撑板上设有贯穿支撑板的配合槽,电池片配合在配合槽内,遮挡板上设有缝隙,运输装置用于运输电池载板,沉积装置设在运输装置的下方,沉积装置用于朝向电池载板喷射氧化铝沉积气流和氮化硅沉积气流,氧化铝沉积气流与氮化硅沉积气流能够通过穿过缝隙以实现电池片镀膜。
技术领域
本实用新型涉及光伏电池片加工设备技术领域,尤其涉及一种背表面钝化电池片镀膜设备。
背景技术
目前,电池片的板式背表面钝化采用上表面镀膜。在实际生产过程中,三甲基铝在氩气携带下与臭氧反应形成氧化铝层,硅烷与氨气在石英管加热形成氮化硅膜已完成对电池片的镀膜。然后采用激光刻蚀的方式对形成有氮化硅膜的电池片进行开槽及做好标记点,之后采用丝网印刷将进行后续填充工艺。在丝网印刷时,需要根据标记点做好套印。
现有设备存在的缺点为:上表面镀膜沉积的多余氧化铝和氮化硅需要采用激光刻蚀去除,使得整个镀膜设备需要增加一个激光工序机台,极大地提升了镀膜设备的生产成本以及延长了镀膜工艺,降低了电池片的生产效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提出一种背表面钝化电池片镀膜设备,背表面钝化电池片镀膜设备能够简化镀膜工艺,提升设备产品,降低镀膜过程中产生的杂质,提升了电池片的良品率。
为实现上述技术效果,本实用新型实施例的背表面钝化电池片镀膜设备的技术方案如下:
一种背表面钝化电池片镀膜设备,包括:电池载板,所述电池载板用于承载电池片,所述电池载板包括支撑板和遮挡板,所述支撑板位于所述遮挡板上方,所述支撑板上设有贯穿所述支撑板的配合槽,所述电池片配合在所述配合槽内,所述遮挡板上设有缝隙;运输装置,所述运输装置用于运输所述电池载板;沉积装置,所述沉积装置设在所述运输装置的下方,所述沉积装置用于朝向所述电池载板喷射氧化铝沉积气流和氮化硅沉积气流,所述氧化铝沉积气流与所述氮化硅沉积气流能够通过穿过所述缝隙以实现所述电池片镀膜。
在一些实施例中,所述支撑板上设有配合在所述配合槽内的支撑格栅,多个所述电池片呈行列排布地分布在所述支撑格栅上。
在一些具体的实施例中,所述支撑板上设有环绕所述支撑格栅设置的配合长孔,所述遮挡板通过连接件与所述配合长孔配合。
在一些实施例中,所述背表面钝化电池镀膜设备还包括吸附装置,所述吸附装置用于吸附所述电池片使其运动至所述运输装置上。
在一些具体的实施例中,所述背表面钝化电池镀膜设备还包括拍摄装置,所述拍摄装置位于所述吸附装置的上方,所述拍摄装置用于拍摄并且识别所述电池片。
在一些更具体的实施例中,所述背表面钝化电池镀膜设备还包括归正装置,所述归正装置用于归正所述电池片,所述归正装置与所述拍摄装置电连接,所述归正装置可以根据所述拍摄装置的结果调整所述电池片的位置。
在一些实施例中,所述运输装置包括两个传送带结构,两个所述传送带结构并排设置,所述电池载板支撑在所述传送带结构的传送带上,所述沉积装置位于两个所述传送带之间。
在一些实施例中,所述沉积装置包括:预热组件,所述预热组件用于预热所述电池片;氧化铝沉积组件,在所述电池片的运输方向上,所述氧化铝沉积组件位于所述预热组件的下游,所述氧化铝沉积组件用于喷射氧化铝沉积气流;氮化硅沉积组件,在所述电池片的运输方向上,所述氮化硅沉积组件位于所述氧化铝沉积组件的下游,所述氮化硅沉积组件用于喷射氮化硅沉积气流。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





