[实用新型]晶棒坠落安全防护装置及单晶炉有效
申请号: | 201922014918.2 | 申请日: | 2019-11-20 |
公开(公告)号: | CN210886311U | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 王维;胥俊东;常晓鱼;陈辉 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创真空技术有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/30;C30B29/06 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 周琦 |
地址: | 100015 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 坠落 安全 防护 装置 单晶炉 | ||
本实用新型涉及光伏领域,公开了一种晶棒坠落安全防护装置及单晶炉。晶棒坠落安全防护装置包括连接组件和止挡组件,止挡组件包括两根旋臂以及连接在两根旋臂之间的止挡板,止挡板上设置有用以阻挡晶棒坠落的容纳孔,容纳孔开设于止挡板的中心,两根旋臂通过连接组件可转动地连接在副室的侧壁上。本实用新型提供的晶棒坠落安全防护装置及单晶炉,通过将止挡组件可转动地连接在副室上,并在止挡板上设置用以阻挡晶棒坠落的容纳孔,能够保证止挡板在连接组件的带动下相对于副室转动。当单晶炉需要开炉取棒时,可将止挡板旋动于副室的正下方,之后旋开副室,能够防止晶棒意外坠落,进而防止质量大的晶棒坠落时对炉体或炉内工艺部件产生的机械撞击。
技术领域
本实用新型涉及光伏领域,特别是涉及一种晶棒坠落安全防护装置及单晶炉。
背景技术
光伏产业是半导体技术与新能源需求相结合产生的战略性新兴产业,也是国际能源竞争的重要领域。近几年,我国光伏产业凭借自身的技术基础和产业配套优势发展迅速,其中,单晶电池片凭借光电转换率高的优势,制作成本不断降低,市场份额逐渐变大。单晶炉作为单晶硅制备的主流设备,目前,单晶炉已经实现了单晶硅棒制备的高产能、低成本、高效率。
在单晶棒制备工艺过程中,安全生产十分重要,单晶炉开炉取棒过程中,需要副室提起旋开。副室提起旋开过程可能因传动部件故障或外界环境振动干扰,储存于副室内的单晶硅棒坠落,坠落的单晶硅棒材会造成炉体或炉内工艺部件损坏,引发生产事故,造成一定的经济损失。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型的目的是提供一种晶棒坠落安全防护装置及单晶炉,以解决晶棒在开炉取棒过程中,晶棒意外坠落、尤其是大质量的晶棒对炉体或炉内工艺部件产生的强大机械撞击问题。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种晶棒坠落安全防护装置,包括连接组件和止挡组件,所述止挡组件包括两根旋臂以及连接在两根所述旋臂之间的止挡板,所述止挡板上设置有用以阻挡晶棒坠落的容纳孔,所述容纳孔开设于所述止挡板的中心,两根所述旋臂通过所述连接组件可转动地连接在副室的侧壁上。
进一步地,所述连接组件包括第一安装座、伸缩件,所述第一安装座固定连接在所述副室的侧壁上,所述伸缩件的第一端可转动地连接在所述第一安装座上,所述伸缩件的第二端可转动地连接在所述旋臂上。
进一步地,所述副室的侧壁上还设置有第二安装座,所述旋臂的第一端可转动地连接在所述第二安装座上。
进一步地,所述旋臂包括主旋臂以及副旋臂,所述主旋臂的第一端可转动地连接在所述第二安装座上,所述主旋臂的第二端与所述止挡板连接,所述副旋臂的第一端与所述主旋臂固定连接,所述副旋臂的第二端可转动地连接在所述伸缩件的第二端。
进一步地,所述第一安装座上设置有用以连接所述伸缩件的转动座,所述转动座与所述第一安装座可转动地连接,所述伸缩件的所述第一端固定连接在所述转动座上。
进一步地,所述第二安装座上设置有用以连接所述主旋臂的固定座,所述主旋臂的第一端可转动地连接在所述固定座上。
进一步地,所述第一安装座为两个,两个所述第一安装座分别设置在所述副室的侧壁相对应的位置处;所述第二安装座为两个,两个所述第二安装座分别设置在所述副室的侧壁相对应的位置处。
进一步地,在所述主旋臂的所述第二端与所述止挡板之间还设置有加强筋。
进一步地,所述主旋臂与所述副旋臂之间具有夹角。
根据本实用新型的另一方面,本实用新型实施例还提供一种单晶炉,包括如前任一项所述的晶棒坠落安全防护装置。
(三)有益效果
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创真空技术有限公司,未经北京北方华创真空技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201922014918.2/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种负离子沙发
- 下一篇:一种电子产品生产用冲孔设备