[实用新型]晶棒坠落安全防护装置及单晶炉

权利要求书

1.一种晶棒坠落安全防护装置，其特征在于，包括连接组件和止挡组件，

所述止挡组件包括两根旋臂以及连接在两根所述旋臂之间的止挡板(100)，所述止挡板(100)上设置有用以阻挡晶棒坠落的容纳孔(102)，所述容纳孔(102)开设于所述止挡板(100)的中心，两根所述旋臂通过所述连接组件可转动地连接在副室(104)的侧壁上。

2.根据权利要求1所述的晶棒坠落安全防护装置，其特征在于，所述连接组件包括第一安装座(106)、伸缩件(108)，所述第一安装座(106)固定连接在所述副室(104)的侧壁上，所述伸缩件(108)的第一端可转动地连接在所述第一安装座(106)上，所述伸缩件(108)的第二端可转动地连接在所述旋臂上。

3.根据权利要求2所述的晶棒坠落安全防护装置，其特征在于，所述副室(104)的侧壁上还设置有第二安装座(110)，所述旋臂的第一端可转动地连接在所述第二安装座(110)上。

4.根据权利要求3所述的晶棒坠落安全防护装置，其特征在于，所述旋臂包括主旋臂(112)以及副旋臂(114)，所述主旋臂(112)的第一端可转动地连接在所述第二安装座(110)上，所述主旋臂(112)的第二端与所述止挡板(100)连接，所述副旋臂(114)的第一端与所述主旋臂(112)固定连接，所述副旋臂(114)的第二端可转动地连接在所述伸缩件(108)的第二端。

5.根据权利要求2所述的晶棒坠落安全防护装置，其特征在于，所述第一安装座(106)上设置有用以连接所述伸缩件(108)的转动座(116)，所述转动座(116)与所述第一安装座(106)可转动地连接，所述伸缩件(108)的所述第一端固定连接在所述转动座(116)上。

6.根据权利要求4所述的晶棒坠落安全防护装置，其特征在于，所述第二安装座(110)上设置有用以连接所述主旋臂(112)的固定座(118)，所述主旋臂(112)的第一端可转动地连接在所述固定座(118)上。

7.根据权利要求3所述的晶棒坠落安全防护装置，其特征在于，所述第一安装座(106)为两个，两个所述第一安装座(106)分别设置在所述副室(104)的侧壁相对应的位置处；所述第二安装座(110)为两个，两个所述第二安装座(110)分别设置在所述副室(104)的侧壁相对应的位置处。

8.根据权利要求4所述的晶棒坠落安全防护装置，其特征在于，在所述主旋臂(112)的所述第二端与所述止挡板(100)之间还设置有加强筋(120)。

9.根据权利要求4所述的晶棒坠落安全防护装置，其特征在于，所述主旋臂(112)与所述副旋臂(114)之间具有夹角。

10.一种单晶炉，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的晶棒坠落安全防护装置。