[实用新型]硅片清洗设备

说明书

本实用新型提供了一种硅片清洗设备，包括：框架组件；工艺机构，设于框架组件中，数量为至少两个，适于对硅片进行工艺处理；传输组件，与框架组件连接，并适于沿框架组件移动并传输硅片，以使得硅片由任一工艺机构移动至任另一工艺机构；隔离组件，设于框架组件中，通过在开启状态和关闭状态之间切换，以使得任一工艺机构的内部空间与外部空间相互连通或相互分隔；其中，工艺机构包括至少一个的清洗组件和至少一个的烘干组件，清洗组件适于对硅片进行清洗，烘干组件适于对硅片进行烘干，清洗组件中设有鼓泡装置。本实用新型能够提高硅片的清洗效率和清洗质量。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造的技术领域，具体而言，涉及硅片清洗设备。

背景技术

近年来，太阳能作为清洁环保能源，在诸多领域得到了广泛地应用。硅片是太阳能光伏产业中最为普遍的元件，其在生产流程中需要进行多道工序处理，从而保证硅片的光电转换效果。在众多处理工序中，硅片表面的制绒清洗工序是将硅片浸入到酸液池或碱液池中发生一系列化学反应的过程。通常情况下，对硅片进行碱液处理是为了得到金字塔状绒面，对硅片进行酸液处理是为了得到虫孔状绒面。进行高质量的绒面处理可以提高硅片的陷光作用，使得入射光在硅片表面多次反射和折射，增加了光吸收，降低了反射率，有助于提高电池的性能。因此，制绒清洗工序中所采用的硅片清洗设备对硅片的生产制造有着至关重要的影响。

实用新型内容

本实用新型旨在解决上述技术问题的至少之一。

为此，本实用新型的目的在于提供一种硅片清洗设备。

为实现本实用新型的目的，本实用新型的实施例提供了一种硅片清洗设备，其包括：框架组件；工艺机构，设于框架组件中，数量为至少两个，适于对硅片进行工艺处理；传输组件，与框架组件连接，并适于沿框架组件移动并传输硅片，以使得硅片由任一工艺机构移动至任另一工艺机构；隔离组件，设于框架组件中，通过在开启状态和关闭状态之间切换，以使得任一工艺机构的内部空间与外部空间相互连通或相互分隔；其中，工艺机构包括至少一个的清洗组件和至少一个的烘干组件，清洗组件适于对硅片进行清洗，烘干组件适于对硅片进行烘干，清洗组件中设有鼓泡装置。

上述技术方案中，鼓泡装置的设置可解决因主清洗槽的槽体变大引起的槽内液体均匀性差、温度一致性差的问题，进而，可有效避免硅片绒面工艺不稳定的弊端，提高硅片的质量和产能。此外，框架组件的设置便于对工艺机构和传输组件进行安装固定。以便使得传输组件能够沿着各个工艺机构进行顺次往复移动。隔离组件可提高各个工艺机构内部彼此的酸碱气隔绝效果，减少相邻工艺机构之间的酸碱气对彼此造成互相干扰，或对硅片造成影响。硅片清洗设备通过框架组件、工艺机构和传输组件共同组建构成自动化的生产线，通过采用传输组件对硅片进行传输，使得硅片能够在各个工艺机构之间灵活和连续地移动，由此提高了清洗工序的自动化程度和生产效率。

另外，本实用新型上述实施例提供的技术方案还可以具有如下附加技术特征：

上述技术方案中，鼓泡装置包括：一个或多个的鼓泡管，设于清洗组件中，具有进气口和鼓泡通孔，鼓泡通孔贯穿鼓泡管的管壁；鼓泡气源，与进气口连通，驱动气体由进气口进入鼓泡管，并由鼓泡通孔排出鼓泡管。

上述技术方案中，鼓泡气源驱动气体由进气口进入鼓泡管，由此可使得鼓泡管实现鼓泡作用。由鼓泡管、进气口和鼓泡通孔共同构成的技术方案结构简单、性能稳定，能够向清洗组件中均匀鼓泡。

上述任一技术方案中，鼓泡管具有往复弯折的闭合回路结构，进气口设于闭合回路结构的任意位置上；或鼓泡管具有往复弯折的开放通路结构，数量为两个的进气口分别设于开放通路结构的两端。