[实用新型]硅片炉体设备的硅片传送装置及炉体设备有效
申请号: | 201922014117.6 | 申请日: | 2019-11-20 |
公开(公告)号: | CN210607300U | 公开(公告)日: | 2020-05-22 |
发明(设计)人: | 罗搏飞;吴勇茂;冼志军 | 申请(专利权)人: | 常州捷佳创智能装备有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人: | 汪海屏 |
地址: | 213133 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 设备 传送 装置 | ||
本实用新型提供了一种硅片炉体设备的硅片传送装置及炉体设备,传送装置包括:双排链条,包括外链板、销轴、中链板和内链板,两外链板通过销轴连接形成外链节,中链板安装在两外链板之间的销轴上,中链板与外链板之间设置有内链节,其中,内链节包括内链板;载具,用于承载硅片,并与中链板相连接。本实用新型提供的传送装置,载具连接在中链板上,从而随链条移动,实现对硅片的传动。采用双排链条传动,可以提高传动的稳定性和准确性。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池硅片生产技术领域,更具体而言,涉及一种硅片炉体设备的硅片传送装置和包括该硅片炉体设备的硅片传送装置的炉体设备。
背景技术
HIT(Heterojunction with intrinsic Thinlayer)太阳能光伏电池制备时,硅片表面印刷完导电浆后需要进行烘干固化。传统的传送装置采用单排链条传动,传动不稳。
实用新型内容
本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。
为此,本实用新型的一个方面的目的在于提供一种硅片炉体设备的硅片传送装置。
本实用新型的另一个方面的目的在于提供一种包括上述硅片炉体设备的硅片传送装置的炉体设备。
为实现上述目的,本实用新型的一个方面的技术方案提供了一种硅片炉体设备的硅片传送装置,包括:双排链条,包括外链板、销轴、中链板和内链板,两所述外链板通过所述销轴连接形成外链节,所述中链板安装在两所述外链板之间的所述销轴上,所述中链板与所述外链板之间设置有内链节,其中,所述内链节包括所述内链板;载具,用于承载所述硅片,并与所述中链板相连接。
本实用新型上述技术方案提供的硅片炉体设备的硅片传送装置,载具连接在中链板上,从而随链条移动,实现对硅片的传动。采用双排链条传动,可以提高传动的稳定性和准确性。
另外,本实用新型上述技术方案提供的硅片炉体设备的硅片传送装置还具有如下附加技术特征:
上述技术方案中,所述中链板包括连接板和安装台,所述连接板设置在所述销轴与所述安装台之间,所述安装台与所述载具相抵接。
安装台用于与载具相抵接,设置安装台可以增大中链板与载具之间的接触面积,从而实现中链板与载具之间的连接可靠性,使载具与双排链条成为一个整体,在传送硅片(电池片)时不会因为有间隙而晃动。
进一步地,安装台设置在载具的中部,以进一步增强对载具支撑的平稳性。
在上述任一技术方案中,所述连接板的端部沿所述载具的长度方向延伸形成所述安装台。
连接板的端部沿在载具的长度方向延伸形成安装台,或者,连接板的端部沿载具的长度方向弯折形成安装台,以增大安装台沿载具长度方向上的尺寸,进而增大安装台与载具的贴合长度和贴合面积,增强安装台对载具支撑的平稳性。
上述任一技术方案中,所述安装台上用于与所述载具相抵接的表面与所述载具上用于与所述安装台相抵接的表面的形状相适配;所述安装台上用于与所述载具相抵接的表面呈平面状,所述载具上用于与所述安装台相抵接的表面呈平面状;或者,所述安装台上用于与所述载具相抵接的表面呈曲面状,所述载具上用于与所述安装台相抵接的表面呈相适配的曲面状。
安装台上用于与载具相抵接的表面为安装台上朝向载具的表面,载具上用于与安装台相抵接的表面为载具上朝向安装台的表面。
安装台上用于与载具相抵接的表面与载具上用于与安装台相抵接的表面的形状相适配,从而进一步增大安装台与载具之间的贴合面积,增强安装台对载具支撑的平稳性,提高双排链条对硅片传送的平稳性。
安装台上用于与载具相抵接的表面和载具上用于与安装台相抵接的表面均呈平面状,使得两表面形状相适配,使得两表面可以完全贴合。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的