[实用新型]硅片炉体设备的硅片传送装置及炉体设备

权利要求书

1.一种硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，包括：

双排链条，包括外链板、销轴、中链板和内链板，两所述外链板通过所述销轴连接形成外链节，所述中链板安装在两所述外链板之间的所述销轴上，所述中链板与所述外链板之间设置有内链节，其中，所述内链节包括所述内链板；

载具，用于承载所述硅片，并与所述中链板相连接。

2.根据权利要求1所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，

所述中链板包括连接板和安装台，所述连接板设置在所述销轴与所述安装台之间，所述安装台与所述载具相抵接。

3.根据权利要求2所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，

所述安装台上用于与所述载具相抵接的表面与所述载具上用于与所述安装台相抵接的表面的形状相适配；

所述安装台上用于与所述载具相抵接的表面呈平面状，所述载具上用于与所述安装台相抵接的表面呈平面状；或者，所述安装台上用于与所述载具相抵接的表面呈曲面状，所述载具上用于与所述安装台相抵接的表面呈相适配的曲面状。

4.根据权利要求2所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，

所述中链板包括相对设置的第一中链板和第二中链板，所述销轴穿过所述第一中链板和所述第二中链板，所述连接板包括所述第一中链板上设置的第一连接板和所述第二中链板上设置的第二连接板，所述安装台包括所述第一中链板上设置的第一安装台和所述第二中链板上设置的第二安装台，所述第一安装台和所述第二安装台相背设置。

5.根据权利要求2所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，

所述载具上设有多个连接部，所述安装台上设有多个连接配合部，多个所述连接部与多个所述连接配合部一一对应并相连接，其中，多个所述连接部中至少两个所述连接部沿所述载具的长度方向依次设置。

6.根据权利要求5所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，

所述连接部包括所述载具上设置的安装孔，所述连接配合部包括所述安装台上设置的连接孔，紧固件穿过所述安装孔和所述连接孔，以连接所述载具和所述安装台。

7.根据权利要求1所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，

所述中链板与所述销轴过盈配合。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，包括：

双排链轮，分别与所述双排链条相啮合；和

传动轴，穿过所述双排链轮，并用于带动所述双排链轮转动；

其中，所述传动轴和所述双排链轮的数量均为多个，多个所述传动轴中至少一个为主动轴，以形成传动循环，且每一所述传动轴上依次设有多个所述双排链轮，所述双排链条的数量与一所述传动轴上设置的所述双排链轮的数量相等并一一对应。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，所述双排链条包括：

套筒，套设在所述销轴的外侧；

滚柱，套设在所述销轴的外侧，并位于所述内链节的两所述内链板之间；

滚轮，所述销轴向外穿出所述外链板，所述滚轮套设在所述销轴位于所述外链板外的部分上。

10.一种炉体设备，其特征在于，包括：

加热装置，限定出工艺腔；和

如权利要求1至9中任一项所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，所述硅片传送装置至少部分设置在所述工艺腔中。