[实用新型]一种带有超声波消除装置的硅片金刚线切割泡沫机构

说明书

本实用新型的目的是提供一种带有超声波消除装置的硅片金刚线切割泡沫机构，其特征在于：由切割基台、储液箱、金刚线切割机、切割液存储舱、集液容器、搅拌驱动机、搅拌装置、消泡装置、消泡感应器、循环泵和控制装置组成，集液容器内部设有筛网，储液箱上部设有储液箱滤网，循环泵设有切割液提取管和切割液输送管；整个机构结构简单、操作方便，利用超声波消除装置能够及时有效地针对金刚线切割区所产生的切割泡沫随液流进储液区，对储液区中形成大量气泡、气泡堆叠、形成泡沫以及部分泡沫进行破除，解决了分散在切割液中的固体物托起、粘污线网等一系列影响切割作业的弊端和问题，避免储液区中的化学成分使用带来的安全隐患，提高了除泡效率。

技术领域

本实用新型涉及切割液切削液回收处理领域，尤其涉及一种带有超声波消除装置的硅片金刚线切割泡沫机构。

背景技术

当今，金刚线切割技术越来越成熟，它对硅棒磨削切割时放出大量摩擦热，热量传递给切割液，而切削产生的超细级(一般称为亚微米级)硅粉和金刚石粉末被分散在切割液中，发生氧化还原反应，释放氢气和一氧化碳气体，聚集在泡沫中，在高速运行的线网与大流量喷射的切割液交叉冲击，是泡沫产生的主要能量来源，如果在切割区产生的大量气泡，气泡堆叠，形成泡沫，部分泡沫随切割液流进入储液区，部分在切割区堆积，将分散在切割液中的固体物托起，粘污线网，影响切割；进入储液区液仓的气泡和泡沫，在液面上不断堆积，到达储液区液仓顶部后，泡沫溢出，严重影响作业现场；切割过程中储液区液仓内切割液快速循环，储液区液仓储液200～300L，循环流量140～200L/min，即1.0～1.5分钟循环一次，切割液中混合的气泡被离心泵叶轮分散，成为细小且密的液状泡喷射到线网切割区，由于液状泡比例较高，喷出的切割液用烧杯取样静置后可见液状泡上浮)，这些细密的液状泡喷射到线网，降低了液对钢线的包裹降温的保护性能，加快钢线磨损，降低线的切割能力，超细硅粉和金刚石粉与水发生反应生成的氢气和一氧化碳，形成微小气泡，进入到由表面活性剂形成的泡沫包裹里，使有害气体很难及时从切割液中排出，从而导致安全隐患，因此需要在金刚线切割设备运转的过程中对切割液泡沫进行消除，以往我们采用的都是通过靠添加消泡剂来消除切割液泡沫，通过在线回收循环切割时，消泡剂会在系统中形成积聚，导致滤袋堵塞，流量低报警等问题影响切割。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供了一种利用超声波消除装置能够及时有效地针对金刚线切割区所产生的切割泡沫随液流进储液区，并在储液区中形成大量气泡、气泡堆叠、形成泡沫以及部分泡沫进行破除，解决了将分散在切割液中的固体物托起、粘污线网等一系列影响切割作业的弊端和问题，使切割过程中产生的氢气和一氧化碳从筛滤后的切割液中快速排出，避免储液区中的化学成分使用带来的隐患，提高了切割液自身的分散性能的硅片金刚线切割泡沫机构。