[实用新型]一种带有超声波消除装置的硅片金刚线切割泡沫机构

权利要求书

1.一种带有超声波消除装置的硅片金刚线切割泡沫机构，其特征在于：由切割基台、储液箱、金刚线切割机、切割液存储舱、集液容器、搅拌驱动机、搅拌装置、消泡装置、消泡感应器、循环泵和控制装置组成，所述储液箱位于切割基台的上部，所述储液箱与切割基台为固定连接，所述金刚线切割机位于储液箱的上部，所述金刚线切割机与储液箱为固定连接，所述切割液存储舱位于金刚线切割机的上部，所述切割液存储舱与金刚线切割机为固定连接，所述集液容器位于储液箱与金刚线切割机之间，所述集液容器与储液箱为固定连接，所述搅拌驱动机位于储液箱的底部，所述搅拌驱动机与储液箱为固定连接，所述搅拌装置位于储液箱的内部，所述搅拌装置的一端穿过储液箱并与搅拌驱动机为固定连接，所述消泡装置位于储液箱的一侧，所述消泡装置与储液箱为活动连接，所述消泡感应器位于储液箱的内部，所述消泡感应器与储液箱为活动连接，并且所述消泡感应器利用线路与消泡装置连接，所述循环泵位于储液箱上部一侧的边缘位置处，所述循环泵与储液箱为固定连接，所述循环泵上还设有切割液提取管和切割液输送管，所述切割液提取管位于循环泵的一侧，所述切割液提取管的一端与循环泵为固定连接，所述切割液提取管的另一端插入到储液箱的内部，所述切割液输送管位于循环泵的另一侧，所述切割液输送管的一端与循环泵为固定连接，所述切割液输送管的另一端与切割液存储舱为固定连接，所述控制装置位于切割基台的一侧，所述控制装置与切割基台为固定连接。

2.根据权利要求1所述一种带有超声波消除装置的硅片金刚线切割泡沫机构，其特征在于：所述储液箱为透明钢化玻璃箱。

3.根据权利要求1所述一种带有超声波消除装置的硅片金刚线切割泡沫机构，其特征在于：所述切割液存储舱为带有液位刻度的容器。

4.根据权利要求1所述一种带有超声波消除装置的硅片金刚线切割泡沫机构，其特征在于：所述集液容器为漏斗形结构。

5.根据权利要求1所述一种带有超声波消除装置的硅片金刚线切割泡沫机构，其特征在于：所述集液容器上还设有筛网，所述筛网位于集液容器的内部，所述筛网与集液容器为固定连接，所述筛网为纤维网。

6.根据权利要求1所述一种带有超声波消除装置的硅片金刚线切割泡沫机构，其特征在于：所述储液箱上还设有储液箱滤网，所述储液箱滤网位于储液箱内侧的上部位置处，所述储液箱滤网与储液箱为固定连接，所述储液箱滤网为棉网。

7.根据权利要求1所述一种带有超声波消除装置的硅片金刚线切割泡沫机构，其特征在于：所述搅拌装置为搅拌桨。

8.根据权利要求1所述一种带有超声波消除装置的硅片金刚线切割泡沫机构，其特征在于：所述消泡装置为超声波消泡器。

9.根据权利要求1所述一种带有超声波消除装置的硅片金刚线切割泡沫机构，其特征在于：所述消泡感应器为超声波换能棒。