[实用新型]一种直拉法单晶炉用加料器防尘罩

说明书

本实用新型公开了一种直拉法单晶炉用加料器防尘罩，包括防尘罩主体，所述防尘罩主体的顶部设置有加料口，所述防尘罩主体的左侧的顶部设置有排气孔，所述加料口的顶部设置有加料漏斗，所述加料漏斗的顶部设置有漏斗压环，所述防尘罩主体顶部的中心处设置有开槽，防尘罩主体的左侧设置有定位孔。本实用新型通过设计防尘罩主体，圆柱体的防尘罩主体可以对加料器进行防尘，避免在将硅料倒入加料器的时候会有大量硅料粉尘飘散，污染单晶炉内壁导致产品质量下降，保证工作人员的生命健康，通过设计加料口，以便进行加料操作，通过设计排气孔，方便气体的排出，从而提高防尘效果，解决了现有防尘效果差的问题。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体为一种直拉法单晶炉用加料器防尘罩。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氩气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，直拉法制备单晶硅工艺中，涉及到复投过程使用的加料工序，在此过程中将硅料倒入加料器的时候会有大量硅料粉尘飘散，会污染单晶炉内壁影响产品质量，也会由此导致出现矽肺，增加安全隐患。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种直拉法单晶炉用加料器防尘罩，具备防尘效果好的优点，解决了现有防尘效果差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种直拉法单晶炉用加料器防尘罩，包括防尘罩主体，所述防尘罩主体的顶部设置有加料口，所述防尘罩主体的左侧的顶部设置有排气孔，所述加料口的顶部设置有加料漏斗，所述加料漏斗的顶部设置有漏斗压环。

优选的，所述防尘罩主体顶部的中心处设置有开槽，所述防尘罩主体的左侧设置有定位孔。

优选的，所述排气孔的左侧贯穿防尘罩主体并延伸至防尘罩主体的外部，所述排气孔的右侧与防尘罩主体内腔的左侧连通。

优选的，所述加料漏斗的形状为T型，所述加料漏斗底部的外径略小于加料口内腔的直径，所述加料漏斗设置在防尘罩主体中心处的右侧。

优选的，所述漏斗压环切面的形状为L型，所述漏斗压环下端的内径略大于加料漏斗上端的外径。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设计防尘罩主体，圆柱体的防尘罩主体可以对加料器进行防尘，避免在将硅料倒入加料器的时候会有大量硅料粉尘飘散，污染单晶炉内壁导致产品质量下降，保证工作人员的生命健康，通过设计加料口，以便进行加料操作，通过设计排气孔，方便气体的排出，从而提高防尘效果，解决了现有防尘效果差的问题。

2、本实用新型通过设计定位孔，便于防尘罩主体进行定位，通过设计加料漏斗的形状为T型，T型加料漏斗可配合加料口使用，以便进行加料操作，通过设计漏斗压环切面的形状为L型，便于对加料漏斗进行固定，提高装置稳定性。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构仰视图；

图3为本实用新型加料漏斗结构左视图。

图中：1、防尘罩主体；2、加料口；3、排气孔；4、加料漏斗；5、漏斗压环；6、开槽；7、定位孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。