[实用新型]光刻胶生产用多阶过滤装置

说明书

本实用新型涉及一种光刻胶生产用多阶过滤装置，包括一级过滤釜和二级过滤罐，其技术要点是：一级过滤釜内下部设有水平过滤网Ⅰ，所述水平过滤网Ⅰ上方设有同心的环形过滤筒，环形过滤筒内悬设有搅拌机构，一级过滤釜顶部设有固液混合物投口、超纯水入口和溶剂入口，一级过滤釜底部设有三通接头并利用三通接头连接有废水输送管路和再过滤输送管路，再过滤输送管路末端设有提升泵，二级过滤罐底面中心支撑有纳滤装置，纳滤装置的顶部支撑有过滤斗，过滤斗底部设有水平过滤网Ⅱ。本实用新型从根本上解决了现有过滤装置过滤效果差的问题，保证感光树脂的再利用指标符合生产要求，节约资源。

技术领域

本实用新型涉及光刻胶生产设备，具体是一种光刻胶生产用多阶过滤装置，适用于光刻胶中感光树脂的回收利用。

背景技术

光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，其是由溶剂、感光树脂、光引发剂和添加剂四种成分组成的对光敏感的混合液体。在紫外光、深紫外光、电子束、离子束等光照或辐射下，进行光化学反应，经曝光、显影等过程，将所需要的微细图形从掩模版转移至待加工的衬底上，然后进行蚀刻等工艺加工，最终得到所需图像。其中，溶剂使光刻胶具有流动性，易挥发，对于光刻胶的化学性质几乎没有影响。感光树脂是惰性的聚合物，用于把光刻胶中的不同材料聚在一起的粘合剂，给予光刻胶其机械和化学性质。光引发剂是光刻胶中的光敏成分，对光能发生光化学反应。添加剂是控制光刻胶材料特殊方面的化学物质，用来控制和改变光刻胶材料的特定化学性质或响应特性。

在光刻工艺中，一般步骤为匀胶—干燥—前烘--曝光—显影—后烘—蚀刻—剥离。因此很大一部分光刻胶在显影过程中溶于废液。光刻胶价格昂贵，如不对废液中的光刻胶回收利用，会造成较大的资源浪费。因此一般会对这部分光刻胶中的感光树脂进行收集，之后继续用于生产。在上述回收行为应用的生产设备中，过滤装置非常重要，直接影响在后产品的品质。但现有的过滤装置存在如下问题：功能单一，过滤后树脂内仍存在杂质，过滤效果差。

发明内容

本实用新型的目的是为了提供一种结构设置更为合理、使用方便可靠的光刻胶生产用多阶过滤装置，从根本上解决现有过滤装置过滤效果差的问题，保证感光树脂的再利用指标符合生产要求，节约资源。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种光刻胶生产用多阶过滤装置，包括一级过滤釜和二级过滤罐，其技术要点是：所述一级过滤釜内下部设有水平过滤网Ⅰ，所述水平过滤网Ⅰ上方设有同心的环形过滤筒，所述环形过滤筒内悬设有搅拌机构，所述一级过滤釜顶部设有固液混合物投口、超纯水入口和溶剂入口，一级过滤釜底部设有三通接头并利用三通接头连接有废水输送管路和再过滤输送管路，所述再过滤输送管路末端设有提升泵，所述二级过滤罐底面中心支撑有纳滤装置，所述纳滤装置的顶部支撑有过滤斗，所述过滤斗底部设有水平过滤网Ⅱ，所述提升泵的出口管路末端插入过滤斗上部并安装有分液器，所述纳滤装置外壁和二级过滤罐内壁之间形成过滤腔，所述二级过滤罐底面对应纳滤装置中心的位置开设有去往浓缩设备的出料口，所述过滤腔的底部开设有废水输出口。

上述的光刻胶生产用多阶过滤装置，所述一级过滤釜由球状顶、球状底和位于两者之间的锥状侧壁组成，所述球状顶的尺寸小于球状底的尺寸，所述锥状侧壁和环形过滤筒之间形成水洗快速泄流区，以加快对感光树脂的水洗效率。

上述的光刻胶生产用多阶过滤装置，所述分液器由喇叭状分液口、设于喇叭状分液口端部的支架、设于支架上的锥形分液体，所述锥形分液体的尖端朝向提升泵的出口管路末端端口，所述锥形分液体和喇叭状分液口之间形成环形锥状分液通道。以均匀的将物料投入过滤斗内。

上述的光刻胶生产用多阶过滤装置，所述水平过滤网Ⅱ的孔径小于水平过滤网Ⅰ的孔径。