[实用新型]光刻胶生产用多阶过滤装置

权利要求书

1.一种光刻胶生产用多阶过滤装置，包括一级过滤釜和二级过滤罐，其特征在于：所述一级过滤釜内下部设有水平过滤网Ⅰ，所述水平过滤网Ⅰ上方设有同心的环形过滤筒，所述环形过滤筒内悬设有搅拌机构，所述一级过滤釜顶部设有固液混合物投口、超纯水入口和溶剂入口，一级过滤釜底部设有三通接头并利用三通接头连接有废水输送管路和再过滤输送管路，所述再过滤输送管路末端设有提升泵，所述二级过滤罐底面中心支撑有纳滤装置，所述纳滤装置的顶部支撑有过滤斗，所述过滤斗底部设有水平过滤网Ⅱ，所述提升泵的出口管路末端插入过滤斗上部并安装有分液器，所述纳滤装置外壁和二级过滤罐内壁之间形成过滤腔，所述二级过滤罐底面对应纳滤装置中心的位置开设有去往浓缩设备的出料口，所述过滤腔的底部开设有废水输出口。

2.根据权利要求1所述的光刻胶生产用多阶过滤装置，其特征在于：所述一级过滤釜由球状顶、球状底和位于两者之间的锥状侧壁组成，所述球状顶的尺寸小于球状底的尺寸，所述锥状侧壁和环形过滤筒之间形成水洗快速泄流区。

3.根据权利要求1所述的光刻胶生产用多阶过滤装置，其特征在于：所述分液器由喇叭状分液口、设于喇叭状分液口端部的支架、设于支架上的锥形分液体，所述锥形分液体的尖端朝向提升泵的出口管路末端端口，所述锥形分液体和喇叭状分液口之间形成环形锥状分液通道。

4.根据权利要求1所述的光刻胶生产用多阶过滤装置，其特征在于：所述水平过滤网Ⅱ的孔径小于水平过滤网Ⅰ的孔径。

5.根据权利要求1所述的光刻胶生产用多阶过滤装置，其特征在于：所述纳滤装置由上支撑环、下支撑环、连接于上、下支撑环之间的纳滤膜筒组成，所述过滤斗的底部边缘设有与上支撑环配合的凹槽，且凹槽底面与上支撑环上表面之间设有密封垫，所述二级过滤罐底面上设有与下支撑环配合的定位槽，所述定位槽内沿设有对应下支撑环的环形密封压圈。

6.根据权利要求1所述的光刻胶生产用多阶过滤装置，其特征在于：所述过滤斗顶部边沿设有翻边且翻边挂于二级过滤罐上沿，所述二级过滤罐顶部设有与所述翻边扣合的压盖。

7.根据权利要求1所述的光刻胶生产用多阶过滤装置，其特征在于：所述搅拌机构由搅拌电机、搅拌杆、设于搅拌杆上的搅拌桨组成。

8.根据权利要求1所述的光刻胶生产用多阶过滤装置，其特征在于：所述废水输送管路设有电磁阀Ⅰ，所述再过滤输送管路上设有与电磁阀Ⅰ不同时开启的电磁阀Ⅱ。