[实用新型]一种用于光刻机的气浮导轨

权利要求书

1.一种用于光刻机的气浮导轨，其特征在于：包括导柱（1）、滑动配合于导柱（1）上并用于固定滑动托板的轴承壳体（4）以及配合安装在轴承壳体（4）和导柱（1）之间的气浮轴承（2）；在轴承壳体（4）的筒壁上对称开设有沿轴承壳体（4）的长度方向分布的第一气道（3）和第二气道（7），第一气道（3）与开设在轴承壳体（4）外壁上的进气孔（5）直接连通，第二气道（7）通过开设在轴承壳体（4）筒壁中并呈环形的第三气道（6）与第一气道（3）连通；气浮轴承（2）采用纳米碳纤维材料制作并固定安装在轴承壳体（4）的内沿，在气浮轴承（2）的外沿开设有沿自身长度方向分布的环形槽，环形槽与轴承壳体（4）的内沿配合形成第四气道（10），在轴承壳体（4）的筒壁上还间隔开设有多个用于连接第四气道（10）和第一气道（3）以及第四气道（10）和第二气道（7）的通气孔（9），以使由进气孔（5）通入的压缩空气可分别由第一气道（3）和第二气道（7）进入第四气道（10），并通过气浮轴承（2）上的微孔后在气浮轴承（2）内沿和导柱（1）外沿之间形成气膜（11）。

2.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的气浮导轨，其特征在于：轴承壳体（4）的内沿设有供气浮轴承（2）配合安装的装配槽，在轴承壳体（4）的端部设有用于将气浮轴承（2）紧压固定在装配槽中的端盖（12）。

3.根据权利要求2所述的一种用于光刻机的气浮导轨，其特征在于：气浮轴承（2）的数量为两个，两个气浮轴承（2）间隔设置在轴承壳体（4）中并位于进气孔（5）两侧的位置。

4.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的气浮导轨，其特征在于：第一气道（3）开设在轴承壳体（4）的顶部，第二气道（7）开设在轴承壳体（4）的底部。

5.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的气浮导轨，其特征在于：第一气道（3）和第二气道（7）的端部均设有堵头（8）。