[实用新型]一种真空镀膜设备用保护装置

权利要求书

1.一种真空镀膜设备用保护装置，包括机体(1)和底座(2)；其特征在于：所述机体(1)位于底座(2)上侧，所述机体(1)底端设置有基座(5)，所述基座(5)上端通过螺栓固定安装在机体(1)底端，所述底座(2)内部为中空设置，所述底座(2)底端设置有底板(3)，所述底板(3)上侧焊接在底座(2)底端位置，所述基座(5)底端嵌入底座(2)内部，所述基座(5)底端和底座(2)上侧设置有多个减震弹簧(8)，所述减震弹簧(8)均匀分布在基座(5)底端和底座(2)上侧位置，所述减震弹簧(8)两端焊接在基座(5)底端和底座(2)上侧位置。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用保护装置，其特征在于：所述底座(2)外侧设置有耐腐蚀层(10)，且耐腐蚀层(10)设置为镀铬层。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用保护装置，其特征在于：所述减震弹簧(8)内部底端设置有支柱(9)，且支柱(9)底端焊接在底座(2)内部。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用保护装置，其特征在于：所述底座(2)和基座(5)之间设置有软连接件(6)，且软连接件(6)两端通过固定扣安装在底座(2)上侧和基座(5)底端。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用保护装置，其特征在于：所述底板(3)底端设置有软垫(4)，且软垫(4)上端通过粘合胶粘贴在底板(3)底端。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用保护装置，其特征在于：所述底座(2)上侧内部和基座(5)底端外侧均设置有限位板(7)，且限位板(7)焊接在底座(2)上侧内部和基座(5)底端外侧，限位板(7)之间相互触碰。