[实用新型]一种PVD设备蒸镀检测用导入接头

说明书

本实用新型提供一种PVD设备蒸镀检测用导入接头，涉及PVD设备技术领域，包括与PVD设备预留口连接的法兰、与蒸镀检测仪连接的螺母和连接所述法兰和螺母的连接轴，所述连接轴的一端与所述法兰密封连接，另一端与所述螺母密封连接。采用本实用新型提供的导入接头，可以快速实现PVD设备预留孔与蒸镀检测仪之间的连接，从而方便对PVD设备内部的蒸镀数据进行检测和评估，提升PVD设备的检测维度。

技术领域

本实用新型涉及PVD设备技术领域，特别涉及一种PVD设备蒸镀检测用导入接头。

背景技术

PVD，是指利用物理气相沉积(Physical Vapour Deposition，PVD)技术在真空条件下，将材料源-固定或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术，PVD设备是指利用上述技术原理的制成的特定机械机构。

根据物理气相沉积方法不同，PVD设备主要包括真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜及分子束外延等。其中，现有真空蒸镀型PVD设备存在如下问题：即在运行过程中，需要对PVD设备真空腔内的蒸镀数据进行检测，但现有的真空蒸镀型PVD设备中预留的连接口KF25连接法兰无法与现有蒸镀检测仪连接，亟需一种转换结构实现上述的连接。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种PVD设备蒸镀检测用导入接头，实现了真空蒸镀检测仪与PVD设备的快速连接，便于对PVD设备内部蒸镀数据的检测。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：

本实用新型提供一种PVD设备蒸镀检测用导入接头，包括与PVD设备预留口连接的法兰、与蒸镀检测仪连接的螺母和连接所述法兰和所述螺母的连接轴，所述连接轴的一端与所述法兰密封连接，另一端与所述螺母密封连接。

进一步地，所述法兰的一面为凸起结构，另外一面为具有凹槽结构，所述法兰具有中心孔，所述中心孔贯穿所述法兰的圆心位置。

进一步地，所述螺母的一端为中心位置具有圆孔的圆环结构，所述圆孔的直径小于所述螺母的内径。

进一步地，所述螺母的侧面上设置有排气孔。

进一步地，所述连接轴包括依次连接的第一管轴、第二管轴、第三管轴和第四管轴，所述第一管轴的外径小于所述第二管轴的外径，所述第三管轴的外径大于所述第二管轴的外径。

进一步地，所述第二管轴的外径不大于所述圆孔的直径，所述第一管轴和所述第二管轴穿过所述螺母的圆孔与所述法兰连接。

进一步地，所述第三管轴的外径大于所述圆孔的直径，所述第三管轴的外径不大于所述螺母的内径，所述第三管轴与所述第四管轴位于所述螺母的内侧。

进一步地，所述第一管轴、第二管轴、第三管轴和第四管轴的内径相同。

与现有技术相比，本实用新型提供的技术方案具有如下优点和有益效果：本实用新型提供一种PVD设备蒸镀检测用导入接头，包括与PVD设备预留口连接的法兰、与蒸镀检测仪连接的螺母和连接所述法兰和螺母的连接轴，所述连接轴的一端与所述法兰密封连接，另一端与所述螺母密封连接。采用本实用新型提供的导入接头，可以快速实现PVD设备预留孔与蒸镀检测仪之间的连接，从而方便对PVD设备内部的蒸镀数据进行检测和评估，提升PVD设备的检测维度。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为实施例中PVD设备蒸镀检测用导入接头的爆炸图；