[实用新型]一种PVD设备蒸镀检测用导入接头

权利要求书

1.一种PVD设备蒸镀检测用导入接头，其特征在于，包括与PVD设备预留口连接的法兰、与蒸镀检测仪连接的螺母和连接所述法兰和所述螺母的连接轴，所述连接轴的一端与所述法兰密封连接，另一端与所述螺母密封连接。

2.根据权利要求1所述的PVD设备蒸镀检测用导入接头，其特征在于，所述法兰的一面为凸起结构，另外一面为具有凹槽结构，所述法兰设有中心孔，所述中心孔贯穿所述法兰的圆心位置。

3.根据权利要求2所述的PVD设备蒸镀检测用导入接头，其特征在于，所述螺母的一端为中心位置具有圆孔的圆环结构，所述圆孔的直径小于所述螺母的内径。

4.根据权利要求3所述的PVD设备蒸镀检测用导入接头，其特征在于，所述螺母的侧面上设置有排气孔。

5.根据权利要求4所述的PVD设备蒸镀检测用导入接头，其特征在于，所述连接轴包括依次连接的第一管轴、第二管轴、第三管轴和第四管轴，所述第一管轴的外径小于所述第二管轴的外径，所述第三管轴的外径大于所述第二管轴的外径。

6.根据权利要求5所述的PVD设备蒸镀检测用导入接头，其特征在于，所述第二管轴的外径不大于所述圆孔的直径，所述第一管轴和所述第二管轴穿过所述螺母的圆孔与所述法兰连接。

7.根据权利要求6所述的PVD设备蒸镀检测用导入接头，其特征在于，所述第三管轴的外径大于所述圆孔的直径，所述第三管轴的外径不大于所述螺母的内径，所述第三管轴与所述第四管轴位于所述螺母的内侧。

8.根据权利要求7所述的PVD设备蒸镀检测用导入接头，其特征在于，所述第一管轴、第二管轴、第三管轴和第四管轴的内径相同。