[实用新型]一种双气源气动系统

说明书

本实用新型提出了一种双气源气动系统，包括气动控制系统和气动冷却系统，所述气动控制系统和所述气动冷却系统分别使用两路气源作为动力源。通过该气动系统，原机台的气动冷却系统的温控性能得到有效改善，并且解决了原机台的气动控制系统中真空隔离阀开闭不良的问题，使得机台的稳定性得到较大提升。

技术领域

本实用新型涉及气动系统领域，具体地涉及一种双气源气动系统。

背景技术

现有技术中型号为TEL 85DD的双真空腔DRM机台的气动控制系统与气动冷却系统共用一路压缩干燥气体(CDA)作为动力源，由于一路CDA的动力有限，一方面使得气动冷却系统的温控效果较差，导致了机台的上电极温度经常发生较大偏差；另外一方面还造成了气动控制系统中的真空隔离阀经常发生开闭异常等问题，增加了机台的维护成本。

基于以上原因，本实用新型提出了一种双气源气动系统，该气动系统将气动冷却系统与气动控制系统的CDA分离，为气动冷却系统增配了一路CDA，气动控制系统仍使用原路CDA。使得机台的气动气路减负优化，机台的上电极温控得到有效改善，同时，真空隔离阀开闭顺畅，解决了机台的泄漏率异常、流量控制异常等问题。

实用新型内容

本实用新型公开了一种双气源气动系统，包括：气动控制系统和气动冷却系统；气动控制系统与第一气源连通，气动冷却系统与第二气源连通。

进一步地，气动控制系统包含依次连接的第一气动控制器和第二气动控制器；以及第二气动控制器分别与主反应腔传送系统和传送腔传送系统连接；以及主反应腔传送系统包含依次连接的主反应腔、背压系统和传送系统；以及传送腔传送系统包含依次连接的传送腔和传送系统。

进一步地，气动冷却系统包含真空腔的上电极和腔壁的温度控制器。

进一步地，气动冷却系统位于机台末端，为开路常通的泄压状态。

进一步地，第二气动控制器与主反应腔传送系统之间设置电磁阀；以及电磁阀与主反应腔传送系统之间设置气动阀和真空隔离阀；以及气动阀为5/32寸接头，真空隔离阀为1/4寸接头。

本实用新型的主要特征点在于：该气动系统中的气动控制系统和气动冷却系统分别使用两路气源作为动力源。

通过使用该双气源气动系统，可以得到以下有益效果：

(1)使得机台的气动气路减负优化，机台的上电极温控精准性提高，温度偏差减小；

(2)产品良率反馈良好，并且有小幅提升；

(3)真空隔离阀开闭顺畅，解决了机台的泄漏率异常、流量控制异常等问题，使得机台的预防性维护的测机异常频率由改进前的1次/周降为0，同时真空隔离阀的送修率由改进前的3颗/年降为1颗/年。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的实施例。

图1为本实用新型一实施例提供的双气源气动系统示意图；

图2为现有技术中的单气源气动系统示意图；

图3为使用了本实用新型的双气源气动系统后的产品温度对比统计图；

图4为使用了本实用新型的双气源气动系统后的真空腔上电极温度对比统计图；

图5为使用了本实用新型的双气源气动系统后的产品良率对比统计图。

附图标记说明：